传感器原理及应用-第1章..pptVIP

传感器定义有以下含义 ①它能完成检测任务，是由敏感元件和转换元件构成检测装置； ②输入量是某一被测量，可能是物理量，也可能是化学量、生物量等； ③能按一定规律将被测量转换成电信号输出，输出量是某种物理量，便于传输、转换、处理、显示等，可以是气、光、电物理量，主要是电物理量； ④传感器的输出与输入之间存在确定的对应关系。 按使用场合不同又称为： 发送器、传送器、变送器、检测器、探头 1.13 传感器的组成 1.15 传感器的发展 1）半导体硅材料 包括单晶硅、多晶硅、非晶硅、硅蓝宝石等 2）石英晶体材料 包括压电石英晶体和熔凝石英晶体（又称石英玻璃），它具有极高的机械品质因数和非常好的温度稳定性 3）功能陶瓷材料 2 微机械加工工艺的发展 4 ） 机械切割技术，制造硅微机械传感器时，是把多个芯片制作在一个基片上，因此，需要将每个芯片用分离切断技术分割开来，以避免损伤和产生残余应力。 3 传感器的多功能化发展 4 传感器的智能化发展 5 传感器模型及其仿真技术 1.2 传感器的特性与主要性能指标 4．迟滞 5．重复性(Repeatability) 传感器动态特性可用下列微分方程描述 下面只研究零阶、一阶、二阶系统： 1．零阶传感器动态特性指标 零阶传感器的输出通过下列类型的方程与其输入相联系