石英反应管处理培训课件.ppt

工序介绍 大石英管处理工具清单 石英反应管操作规范和技巧 主要内容 第一部分：工序介绍 第四部分：操作技巧 第二部分：操作流程 第三部分：操作规范 第五部分：设备相关 第六部分：质量控制 第七部分：安全生产 工序介绍 石英反应管介绍 贺利氏（单尾） 贺利氏管，两个尾巴 涂源 贺利氏（单尾） 贺利氏管，两个尾巴 磷扩 GE214（ 单尾） 贺利氏管，两个尾巴 氧化 贺利氏管，两个尾巴 Al推进 贺利氏管，两头开口，带法兰盘 Al预沉积 Φ170 Φ220 规格 使用工序 　 电子1# 　 小推车 　 圆珠笔 　 定性滤纸 　 耐酸碱手套 　 PVC手套 　 医用手套 　 净化口罩 　 洗手液 　 纱布 　 NPP材料 清洗杆 型号规格 名 称 工具、器具 工序介绍 设备及药品清单 盐酸 氢氟酸 大石英管清洗机操作台面 操作流程 大石英管处理操作流程（一） 拆装 自检 冲洗 电子1#擦洗 溢流 冲洗 配制1：1：4酸液，将石英管放在大石英管清洗机的酸槽内，打开清洗机开始转动，待酸液洗完 酸冲洗 将石英管放在专用的推车承载区域，在去离子水管下冲洗内外表面。 把配制好的电子1#倒在纱布上，反复擦洗外表面2-3次，将纱布绑在清洗杆上，反复擦洗内表面2-3次，不能有遗漏的地方 用去离子水冲洗表面，把灌满管容积的2／3，晃动管2分钟，在把水放掉，反复操作2-3遍，用净化纸封口后送至净化间 领取石英管，检查身份卡上的进厂检验信息是否符合领用要求，检查石英管是否有破损 操作流程 大石英管处理操作操作流程（二） 冲洗干净清洗机酸槽, 从石英管进气端用去离子水流入冲洗，并转动石英管，直到管口流出的水测试为中性。 封好石英管前后两段，塞进炉体，并前后塞好保温棉，运行炼管曲线。 炼完石英管以后，接好气路，并运行常规工艺曲线进行饱和石英管 做好上诉所有操作时，填写完整石英管身份卡，并将卡放入专用文件夹中保存. 冲洗 炼管 饱和 填卡 使用 把小推车冲洗干净,先用水冲洗，再用抹布自上而下擦 操作规范 对石英管内外壁经行冲洗，反复2-3遍 操作规范 操作规范 将纱布绑在专用清洗杆（NPP材料去离子水管道）上。 将清洗杆伸 入石英管内部，用绑在上面的纱布清洗石英管内表面，反复擦洗2~3遍 边转动边自下而上的擦洗，不能有遗漏的地方 操作规范 将配制好的D1#倒在准备好的纱布上， 擦洗石英管外表面，反复擦洗2~3遍， 不能有漏的地方 操作规范 电子1#擦洗完以后，用大量去离子水冲洗外壁，内壁用溢流法冲洗，把水灌满管的2／3，并晃动石英管，反复2-3次。冲完后用净化纸封口送至净化间 操作规范 配制1：1：4酸液，将石英管放在大石英管清洗机的酸槽内，打开清洗机开始转动，待酸液洗完 4份水 1份HCL 1份HF 从管的进气口进酸 操作规范 酸洗完以后，用去离子水冲洗管的内外壁，至少1小时以上 操作规范 PH试纸呈中性，说明冲干净 冲洗干净后，用PH试纸检验是否冲干净 操作规范 封好石英管前后两端，塞进炉体，并前后塞好保温棉，运行炼管曲线，然后运行常规工艺饱和石英管，填写身份卡后，方可使用。 运行工艺洗管炼管曲线 设备日常 维护保养 做好 使用记录 拉温区时检 查管是否 破损，变形 大石英管 清洗机 保持干净 按要求 日期进行 工艺洗管 设备日常维护保养的方法 设备相关 设备使用注意事项 设备相关 要注意轻拿轻放，不要磕碰，以免高温时有应力导致石英管破裂 不同工序使用的石英管应该定点存放，防止混用现象，且要定期处理已经使用过的石英管 存放 含涂层的石英管在清洗过程中严禁外壁接触酸液 ,防止涂层被损坏 带涂层管 清洗 质量要求 要求处理过程中大石英管表面没有破损，裂痕，杂质等。 电子1#擦洗完必须要用去离子水冲洗干净。 酸洗完后必须保证管的内外壁没有残留药品。 炼管完必须按要求进行饱和。 做好处理和使用记录。 质量控制 质量控制 常见质量问题的原因及解决方法 质量现象 原因分析 解决办法 表面有杂质，裂痕 管本身有缺陷 咨询工程师能否使用或者退厂家 处理过程中有磕碰情况 加强操作细节，避免发生此类情况 31天 AL预沉积及推进 31天 硼扩散 31天 磷推进并氧化 31天 磷扩散/磷吸收 31天 氧化 日常处理工序及周期 谢 谢 地址:湖北省襄樊市胜利街186号 邮编:441021 电话:0710-3506288 传真:0710-3506299 Http:// E-mail: trade@ 备注：演示时，把鼠标放在每个步骤下面的方框中会变成手的形状，点鼠标左键就可以链接到对应的操作规范部分； 在操作规范部分，把鼠标放在标题下方的文字框中会变成手的形状，点鼠标左键就可以返回到操作