第4章 工艺及器件仿真工具ISE.ppt

* */102 收敛问题 是否真不收敛？ 查看输出文件（**.out） 误差项有逐渐减小的趋势，一般可以通过增加迭代次数、减小仿真步长等手段使其收敛。（只要仿真步长、迭代次数设置得不是很离谱，一般不会有此问题） 误差项逐渐增大，或呈振荡状，则是真正的不收敛。 浙大微电子 * */102 不收敛的原因 工艺仿真结果不好 数学算法不好 物理模型或参数设置不准确 初始条件不好 浙大微电子 * */102 工艺仿真引起的不收敛 浙大微电子 * */102 数学算法不好 采用牛顿迭代还是其他的迭代方式（Jacobian） 迭代次数和步长减少次数合理设置 误差控制 浙大微电子 主要模型简介 1. 漂移-扩散传输模型 适用于恒温下，在指定器件中特定边界条件下的自对准耦合泊 松方程和载流子连续方程（电子或空穴）。这种模型适合于低 功率密度的大器件仿真，如0.25 ?m的低电平振荡MOSFET。 2. 流体动力学传输模型 适用于仿真器件击穿，仿真衬底电流，仿真0.18 ?m以下深亚 微米MOSFET器件、异质结器件、部分耗尽层SOI MOSFET。 3. 密度梯度传输模型 密度梯度传输模型主要用来仿真纳米级器件、量子阱和SOI结 构等，如深耗尽的SOI、双栅SOI及FinFET器件。 * */102 浙大微电子 小信号AC分析 对MOSFET进行AC仿真可以得到： 曲线1，栅电容；