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第六章 透射电子显微镜结构 山东科技大学材料学院 吴杰 透射电子显微镜是以波长极短的电子束作为照明源，用电磁透镜聚焦成像的一种高分辨本领、高放大倍数的电子光学仪器。 第一节 透射电子显微镜的结构 第二节 透射电镜的主要部件 第三节 透射电镜的发展 一、照明系统 照明系统主要由电子枪和聚光镜组成。 电子枪是发射电子的照明光源。 聚光镜是把电子枪发射出来的电子会聚而成的交叉点进一步会聚后照射到样品上。 照明系统的作用就是提供一束亮度高、照明孔径角小、平行度好、束流稳定的照明源。 1、电子枪 常用的是热阴极三极电子枪，它由（发夹形）钨丝阴极、栅极和阳极组成。 阴极：又称灯丝，一般是由0.03～0.1毫米的钨丝作成V或Y形状。 阳极：加速从阴极发射出的电子。为了安全，一般都是阳极接地，阴极带有负高压。 栅极：控制电子束电流大小，调节象的亮度。 阴极、阳极和栅极决定着电子发射的数目及其动能，因此，人们习惯上把它们通称为“电子枪”，是透射电子显微镜的电子源。 图（a）为电子枪的自偏压回路，起限制和稳定束流的作用。 负的高压直接加在栅极上，而阴极和负高压之间因加了一个偏压电阻，使栅极和阴极之间有一个数百伏的电位差。因为栅极比阴极电位值更负，所以可以用栅极来控制阴极的发射电子有效区域。当阴极流向阳极的电子数量加大时，在偏压电阻两端的电位值增加，使栅极电位比阴极进一步变负，由此可以减