第十三章 晶体薄膜衍射成像 qicaidie课题.ppt

对于 R＝1/6112的层错，附加相位角α ： α＝2πghkl · R ＝2π( ha*＋kb*＋lc* ) · 1/6( a＋b＋2c ) ＝π/3 ( h＋k＋2l )。 因面心立方晶面的 h、k、l为全奇或全偶,不消光。把能产生衍射的hkl带入 故α只可能是0,2π或±2π/3。 ① 如果选用 ghkl= 或 [311] 等 ， 层错将不显衬度； ② 若ghkl为 [200] 或 [220] 等，α＝ ±2π/3 ，可以观察到这种缺陷。 常见晶体的消光规律 ghkl =ha*＋kb*＋lc* 简单立方：无消光现象 面心立方：当h k l 为异性数时，消光 当h k l 为同性数时，不消光 体心立方：当h+k+l=奇数，消光 当h+k+l=偶数，不消光 (a)平行薄膜表面的层错 对层错区，衍射波振幅则为 ： 显然，Φgˊ≠Φg，衍衬图像亮度不同，构成了衬度。 层错区：显示为均匀的亮区或暗区。 （1）平行于薄膜表面层错 ： 薄膜厚度为 t ，层错CD平行于表面，则 对无层错区，衍射波振幅为： （2）倾斜于薄膜表面层错：层错区的衍射波振幅仍为： (b)倾斜薄膜表面层错 但