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工程变更流程FAB Engineering Change Procedure工程变更内容术语解释工程变更：FECP（FAB Engineering change procedure）小批量实验：STR（Special Test Request）大批量实验：MSTR（Mass Special Test Request）供检验证书：COA（Certificate of Analysis）高级变更鉴定委员会高级变更鉴定委员会：负责审核A类工程变更。由厂长，技术部经理，品质部经理（委员会主席）和其他变更相关部门经理（设备，采购等）组成。委员会职责：1）审核工程变更分级是否正确；2）审核A类工程变更需求；3) 决定需要收集哪些数据；4）审核工程变更报告；5）决定是否需要通知客户初级变更鉴定委员会初级变更鉴定委员会：负责审核B/C类工程变更。由技术部，品质部（委员会主席）和生产部组成。委员会职责：1）审核工程变更分级是否正确；2）审核B/C类工程变更需求；3) 决定需要收集哪些数据；4）审核工程变更报告工程变更等级定义工程变更等级定义：A类（公司级）：变更风险高，可能对产品特性、良率和可靠性有影响 B类 (各相关部门和质量审核)：变更风险中等，可能对产品特性、良率有较大影响C类 (各相关部门和质量审核)：变更风险小，可能对产品特性、良率有较小影响工程变更等级定义细则实验要求及数据分析实验不同级别批数要求：A类：3 STR lots 光电参数+良率+可靠性 -- 10 MSTR 电参数+良率 -- 上线B类：3 STR lots 光电参数+良率 -- 上线C类：3 STR lots 光电参数+良率 -- 上线STR一般用3批，每批至少5片；MSTR一般用至少10批。技术部与品质部可以根据变更的实际情况来要求更多的批数与片数实验数据分析方法：针对连续型数据（薄膜厚度等）：1）平均值的差异小于1倍的基准条件标准差，2）新条件标准差不能大于1.5倍的基准条件标准差。针对量测机台/方法的变更：需要通过平均值的成对双样本分析（paired t-test）。原物料变更需要提供检验证书数据和对应的公司内部规格经FECP会议讨论，需要通知客户的A类变更：STR/MSTR晶片的出货与变更的上线需要得到客户同意工艺变更流程图工程变更开始申请者撰写工程变更申请报告和填写变更申请单（申请STR）工程变更等级判定A类B/C类高级变更鉴定委员会审核I初级变更鉴定委员会审核I退回退回通过通过变更申请单传签：STR实验变更申请单传签：STR实验申请者选取STR lot进行实验，数据分析，撰写STR报告，申请MSTR申请者选取STR lot进行实验，数据分析，撰写STR报告，申请上线高级变更鉴定委员会审核II退回初级变更鉴定委员会审核II退回通过变更申请单传签：MSTR实验通过申请者选取MSTR lot进行实验，数据分析，撰写MSTR报告，申请上线变更申请单传签：上线变更流程结束高级变更鉴定委员会审核III退回通过变更申请单传签：上线工艺变更申请单工艺变更申请单：注意：STR的出货需要经过审核委员会的统一注意：每一次提交到审核委员会的工艺变更申请单，都需要附带申请报告一起提交工程师职责：准备工程变更申请前报告---主要是用自己的dummy 片跑一些验证数据，支撑此变更的可行性。准备申请STR报告。第一次FECP会议----工程师携带申请报告和FECP申请单（可发给我电子档），提交给QC owner-孟丽华。会议安排和报告格式的确认由QC Owner负责，安排好后发会议邀约给各位申请者。根据会议结论，申请STR Lot。STR Lot 找生产下。并把电子档发给我，随后三方签字。单子签完后Run STR。并且要对STR Lot 设定Future hold在soter前。第二次FECP会议-工程师携带STR 报告和 STR Lot申请单。QC安排会议，根据会议结论，判定能否Release或者Run MSTR。 STR Lot是否Release。工程师要对STR Lot 中wafer的准确性负责。新产品releaseLayout DesignQual Lot wafer list Alloy Data SummaryBST Test DataFull Probing Data SummaryVF4 Pout distribution (all of the wafer)BIN tableAOI yield I-V CurveReliability Test DataFollow ItemFollow up item产品转移文件List序号(No.)项目名称 DescriptionWH OwnerRemarkCurrent Status1产品规格书 Product specific