微振动流的发展泵采用MEMS技术试编.doc

微振动流的发展泵采用MEMS技术 摘要： 在本论文中，我们提出了一种微振动流量泵（微VB），这是一种新型的微型泵。微VFP构造上使用主动式振动阀，由固定在墙壁上的一个微通道和下游的狭缝孔的悬臂状结构构成。狭缝孔被设计成周围的振动阀的流动不对称形，并且有效地产生一个净流的一个方向。与此同时，阀作品作为一个致动器以诱导液体流在微通道。由于阀是由柔性材料，其包括磁性颗粒，它是由从微VFP外改变磁场操纵。这种设计使微的VFP外部操作不存在任何电气或机械的连接。此外，微VFP，它体现了与一个腔室泵送自由设计性，使其便于在小空间实现。为了证明其基本泵送性能，原型微VFP在制作在微通道240微米×500微米的一个横截面采用了微机电系统技术，机阀的振动特性使用高速摄像进行了调查。泵的性能在5到25赫兹的范围内的各种致动的频率，通过测量静水压头和流率进行评价。所提出的微VFP设计表现出驱动频率性能的提高并且具有3.8±0.4 Pa的最大关闭压力和在25赫兹内，0.38±0.02微升/分钟的最大流量。此外，为了阐明的详细泵送过程中，围绕振动阀的流动特性，通过分析基于微米分辨率的粒子图像测速（微PIV）的速度场进行了调查。流体静压测量的有效性通过比较体积流速与从微PIV数据估计证实。本研究揭示了开发微VFP的基本性能。 关键词：微泵，振动流泵，阀，微机电系统，微PIV 介绍 许多技术用于微型