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进气口 旋转式泵 Vacuum ? Why??Electron Mean Free Path requires at least 10-3 Torr ? Electron source life ? W filament ? 10-4 Torr ? LaB6 filament ? 10-7 Torr ? Field Emission ? 10-10 Torr How do we achieve a good vacuum? ? Mechanical roughing pump backing a diffusion pump ? Liquid nitrogen cold trap ? Turbo molecular pump ? Ion getter pump **Note: Vacuum most critical in gun area; all parts must be very clean! ? Filament ? Filament Heater ?Wehnelt Cap（氧化物阳极帽） ? Anode ? High Voltage between anode and filament Electron Gun Secondary detector (ETD) X-ray Microanalysis Overview of WDS system 一.SEM结构及成象原理 * * 现代材料分析方法 刘胜新 第三章 扫 描 电 子显 微 镜 Scanning Electron Microscopy （SEM） 　　扫描电子显微镜应用：形貌、微区分析（？？）和晶体结构等多种分析。 概述　 15.02 52.23 CeL 06.12 04.27 SiK 27.77 18.59 AlK 22.45 13.55 MgK 28.64 11.37 O K At% Wt% Element 多相合金扩散偶的相鉴定(EDAX-TSL数据) (a)菊池花样质量图及各相的菊池花样 多相合金扩散偶的相鉴定(EDAX-TSL数据) ( (b) EBSD相鉴定的结果及各相百分率 多相合金扩散偶的相鉴定(EDAX-TSL数据) (c)能谱仪测出的氧、铜、铝在各相中的分布 立方取向亚晶 形变织构极图 一个晶粒内部位向稍有差异的不同区域；亚晶尺寸：1 mm，晶粒尺寸：15-250mm 镁合金挤压材的拉伸断口形貌 特点： ①分辨率比较高，二次电子像 ②放大倍数连续可调，几十倍到二十万倍 ③景深大，立体感强 ④试样制备简单 ⑤一机多用 分辨率： 常规的热钨灯丝（电子）枪扫描电子显微镜，分辨率最高只能达到 3.0nm； 新一代的场发射枪扫描电子显微镜，分辨率可以优于1.0nm；超高分辨率的扫描电镜，其分辨率高达0.5nm-0.4nm。 环境描电子显微镜可以做到：真正的“环境”条件，样品可在100%的湿度条件下观察；生物样品和非导电样品不要镀膜，可以直接上机进行动态的观察和分析；可以“一机三用”。高真空、低真空和“环境”三种工作模式。 And now a look inside the SEM…. SEM-Scanning Electron Microscope (or microscopy) TEM- Transmission Electron Microscope AEM- Analytical Electron Microscope STEM- Scanning Transmission Electron Microscope EPMA-Electron Probe MicroAnalyzer SPM-Scanned Probe Microscope (STM, AFM) To see a VIRTUAL SEM, go to the following link: /primer/java/electronmicroscopy/magnify1/index.html High Resolution Field Emission SEM 一、电子束和固体样品作用时产生的信号 　　入射电子（又称为初始或一次电子）照射固体时与固体中粒子的相互作用包括： ?? （1）入射电子（incident electron）的散射； ?? （2）入射电子对固体的激发(kick out)； ?? （3）受激发粒子在固体中的传播。 电子束和固体样品作用时产生的信号 backscattered electron characteristic X-ray secondary electron auger electron absorbed electron Specimen transmission electron incident