椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率.docVIP

椭偏光法测量薄膜的厚度和折射率 实验目的： 了解椭偏光法测量原理和实验方法。 熟悉椭偏仪器的结构和调试方法。 测量介质薄膜样品的厚度和折射率。 实验原理： 1.椭圆偏振方程 在一光学材料上镀各向同性的单层介质膜后，光线的反射和折射在一般情况下会同时存在的。通常，设介质层为n1、n2、n3，φ1为入射角，那么在1、2介质交界面和2、3介质交界面会产生反射光和折射光的多光束干涉，如图(1-1) 图(1-1) 这里我们用2δ表示相邻两分波的相位差，其中（*），用r1p、 r1s表示光线的p分量、s分量在界面1、2间的反射系数， 用r2p 、r2s表示光线的p分、s分量在界面2、3间的反射系数。 由多光束干涉的复振幅计算可知： 其中和分别代表入射光波电矢量的p分量和s分量，和分别代表反射光波电矢量的p分量和s分量。现将上述、 、、四个量写成一个量G，即： 我们定义G为反射系数比，它应为一个复数，可用tgψ和Δ表示它的模和幅角。上述公式的过程量转换可由菲涅耳公式和折射公式给出： 上述复数方程表示两个等式方程： Re（tg)=Re Im (t