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* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 三、电涡流式传感器测量电路 2、调幅式电路 传感器线圈L、电容器C和石英晶体组成石英晶体振荡电路。 当金属导体远离传感器线圈时,谐振回路谐振频率fo,回路呈现的阻抗最大,谐振回路上的输出电压也最大;当金属导体靠近时,线圈的等效电感L发生变化,导致回路失谐,输出电压降低,L的数值随距离的变化而变化。因此,输出电压也随而变化。 §3 电涡流式传感器 石英晶体振荡器起恒流源的作用,给谐振回路提供一个频率f0稳定的激励电流io,LC回路的阻抗为Z时输出电压 载有交变电流的线圈产生交变磁场Hp,金属物平面感应出电涡流,产生交变涡流磁场Hs ,均在检测线圈(反向差动线圈)中产生感应电动势。 一、电涡流式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 1、无损金属材料探伤 ① 被测金属物上无缺陷 穿过检测线圈的两个线圈的磁通量相等,感应电势相互抵消,输出为零。 一、电涡流式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 1、无损金属材料探伤 ② 被测金属物上有缺陷 穿过两个检测线圈的磁通量不相等,检测线圈输出感应电势不为零。 幅值甄别电路信号 处理后幅值甄别电路信号 量 程:0 ~ 30mm 分辨率:0.1% 一、电涡流式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 2、测量位移——液位监控系统 3、测量位移 ——汽轮机主轴的轴向窜动 薄膜厚度:d=X0-X 等效电感:L=L0-ΔL 一、电涡流式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 4、测量转速 5、测量薄膜厚度 齿轮齿数 一、电涡流式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 6、测量板材厚度 一、电涡流式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 7、生产工件计数 一、电涡流式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 8、接近传感器 一、电涡流式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 8、接近传感器——接近开关专用集成电路SC205 动态测量范围:±1mm 分 辨 率:1um 精 度:3% 二、自感和互感式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 1、电感测微仪 探头 测量 电桥 交流 放大 相敏 检波 指示器 振荡器 二、自感和互感式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 2、电感压力传感器 A 1 2 3 4 5 6 7 微压传感器 1 接头;2 膜盒;3 底座;4 线路板; 5 差动变压器;6 衔铁;7 罩壳 二、自感和互感式传感器应用 §4 电感式传感器的应用 3、电感式滚珠直径分选 * * μ1——铁芯材料的导磁率;μ2——衔铁材料的导磁率;l1——磁通通过铁芯的长度;l2——磁通通过衔铁的长度; A1——铁芯的截面积;A2——衔铁的截面积;μ0——空气的导磁率;A——气隙的截面积;δ——气隙的厚度。 * μ1——铁芯材料的导磁率;μ2——衔铁材料的导磁率;l1——磁通通过铁芯的长度;l2——磁通通过衔铁的长度; A1——铁芯的截面积;A2——衔铁的截面积;μ0——空气的导磁率;A——气隙的截面积;δ——气隙的厚度。 * * * * * * * * * * 差动间隙式电感传感器由两个相同的电感线圈Ⅰ、Ⅱ和磁路组成, 测量时, 衔铁通过导杆与被测位移量相连, 当被测体上下移动时, 导杆带动衔铁也以相同的位移上下移动, 使两个磁回路中磁阻发生大小相等, 方向相反的变化, 导致一个线圈的电感量增加, 另一个线圈的电感量减小, 形成差动形式。 * 差动间隙式电感传感器由两个相同的电感线圈Ⅰ、Ⅱ和磁路组成, 测量时, 衔铁通过导杆与被测位移量相连, 当被测体上下移动时, 导杆带动衔铁也以相同的位移上下移动, 使两个磁回路中磁阻发生大小相等, 方向相反的变化, 导致一个线圈的电感量增加, 另一个线圈的电感量减小, 形成差动形式。 * 差动间隙式电感传感器由两个相同的电感线圈Ⅰ、Ⅱ和磁路组成, 测量时, 衔铁通过导杆与被测位移量相连, 当被测体上下移动时, 导杆带动衔铁也以相同的位移上下移动, 使两个磁回路中磁阻发生大小相等, 方向相反的变化, 导致一个线圈的电感量增加, 另一个线圈的电感量减小, 形成差动形式。 * * * * 电桥输出电压为 七、自感式传感器的测量电路 线性处理后电桥输出电压为 1、交流电桥式测量电路 差动式传感器的电感灵敏度K0为 ① 变间隙差动式电感传感器的灵敏度是单线圈式的两倍。 ② 差动式的非线性误差明显改善。 输出电压与Δδ成正比。 §1 自感式传感器 曲线1、2为两线圈各自电感特性; 曲线3为两线圈差接时的电感特性; 曲线4为差接后电桥输出电压与衔铁位移的特性曲线。 七、自感式传感器
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