传感器（第5版）作者唐文彦第13章课件.pptxVIP

普通高等教育“十一五”国家级规划教材传 感 器（第5版）哈尔滨工业大学 唐文彦 主编普通高等教育“十一五”国家级规划教材第十三章?传感技术新发展 第一节 MEMS传感器 第二节 无线传感器网络 第三节 时栅传感器 第四节 其它传感器简介目录.pptx返回主目录第十三章?传感技术新发展第一节 MEMS传感器一、原理及特点MEMS(Micro Electric Mechanical System，MEMS)即为微机电系统，一个完善的MEMS，往往是集微型传感器、微型执行器以及信号处理和控制电路，甚至接口电路、通信和电源于一体的微型机电系统。图13-1 典型的MEMS示意图第一节 MEMS传感器MEMS传感器具有一系列的优点:1. 体积小，重量轻。2. 能耗低。3. 性能好。4. 易于批量生产，成本低。5. 便于集成化和多功能化。6. 提高传感器的智能化水平。第一节 MEMS传感器二、加工技术硅具有极优越的机械和电性能，因此微传感器多由硅加工而成。主要的技工技术：1. 体微加工技术2. 表面微加工技术3. 键合技术4. 光刻电铸注塑技术(LIGA)第一节 MEMS传感器三、应用举例1. 热电堆微传感器热电堆就是将多个热电偶串联起来构成的一种温度传感器或红外光探测器。热电堆的输出电压（输出温差电动势）是多个热电偶的输出电压之和。为了提高灵敏度和响应速度，热电堆光电探