Ch.02_MEMS器件-执行器课件.pptVIP

工作环境必须是液体环境，限制了其最大工作速度（由于阻尼）和效率（由于液体的热导）。 热驱动方法功耗较大，且因为热时间常数，其带宽比较低。热气动式由于要有密封腔，所以生产装配工艺较为复杂。 缺点： 微执行器的分类 按驱动原理分类 静电式微执行器 压电式微执行器 热微执行器 电磁式微执行器 形状记忆合金微执行器 电磁式微执行器 原理：通过线圈通电产生磁场，导磁体由于磁场力的作用而产生运动。任何载流导体在磁场中都要受到洛伦兹力的作用。电磁执行器就是以洛伦兹力为主要驱动力。 通电导体产生磁场。平行的两条导线中通以相同方向的电流则彼此之间相互吸引，如果通以相反的电流，则彼此之间相互排斥。 电磁执行器在数毫米内产生作用力，动作幅度大；其缺点是功耗一般较高，而且产生的磁场会对附近的物体产生一些影响。例如移动带电微粒或影响磁数据存储介质。 载流导线周围某点磁场强度 单圈线圈中心处磁场强度 单圈线圈对中心导磁体的作用力为 “弯曲”线圈结构是平面内蜿蜒形导体，它与一个双层的磁芯交错在一起。 带驱动线圈的磁执行器 电磁式微执行器实例(1) 永磁体 氮化绝缘层 入口 出口 德国的电磁致动微型阀 金线圈 多晶硅 德国研制的电磁致动微阀，阀片为牺牲层技术制作的多晶硅膜。这是为小型气体分析仪设计的微阀结构，设计的压力指标为10-50kPa，