JSD-300蒸发镀膜机使用说明书.docVIP

JSD-300型真空镀膜机 使 用 说 明 书 安徽嘉硕真空科技有限公司 目 录 1、概述…………………………………………………………………………………………………………3 2、主要技术性能参数………………………………………………………………………………3 3、设备安装……………………………………………………………………………………………….5 4、操作规程……………………………………………………………………………………………….5 5、使用注意事项、维护与保养…………………………………………………………….7 6、设备主要配置……………………………………………………………………………………….8 7、技术资料清单…………………………………………………………………………………………9 一、概述 JSD-300型真空镀膜机是我公司研发，用于真空蒸发镀光学薄膜、低熔点金属和合金薄膜等。设备由真空室、真空机组和电气系统组成，具有结构紧凑、方便移动、操作简单、维护方便的特点，特别适合小型企业、科研单位和高校的使用。 二、主要技术性能参数 真空室：φ300*H450mm； 基片架：放一个基片，可旋转（步进电机控制，转速连续可调，可加热0-300度连续可调）； 最大可镀工件直径：φ120mm； 极限真空度：1X10-4