电容式薄膜绝对压力传感器原理课件.pptVIP

MKS Confidential * 现代电容式薄膜绝对压力传感器原理 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 在超高真空下的参考面 通过真空泵维持在高真空参考压力下 MKS Confidential * 一个完整的传感器 – 压力传感器 + 信号控制电路 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器(Manometer) 电子部件 满度调节 线形调节 零点调节 振荡器 参考 缓存 放大 电桥 输出 MKS Confidential * 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 现代电容式薄膜差压式压力传感器原理 至电子部件 隔膜 电子组件 测量面 参考面 MKS Confidential * 温度控制的薄膜压力传感器 – 范围及输出 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 零点压力 读数范围 可控范围 压力分辨率 举例：1Torr 满量程压力传感器 MKS Confidential * 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 温度控制的薄膜压力传感器系列 MKS Confidential * 零点、满量程及线性 压力测量 – 电容式薄膜压力传感器 显示压力 输出 零点 零点 失调 满量程 失调 线性 失调 调整的比例 真实压力 满量程 MKS Confidential * 误