Al2O3陶瓷YAG激光切割重铸层..docVIP

Al2O3陶瓷YAG激光切割重铸层 Al2O3陶瓷YAG激光切割重铸层 2004-10-16 09:45 来源: 作者: ? 1　引言　　激光切割陶瓷由于具有非接触、柔性化、自动化及可实现精密切割和曲线切割、切缝窄、速度快等特点，同传统的切割方法如金刚石砂轮切割法相比，是一种有巨大应用价值和发展潜力的理想陶瓷加工方法〔1-2〕。但是，陶瓷属硬、脆材料，热稳定性较差，切割时易形成重铸层和裂纹，降低了基体原有的优良性能。现有的无裂纹切割方法基本上采用Q开关脉冲激光(CO2或Nd:YAG)，在单脉冲能量不变的前提下，压缩脉宽至ns级，脉冲频率提高至10～20KHz级。其显著缺点是设备能力要求高，往往要求多道重复切割或预加工，实用切割效率低〔3-4〕。　　本文采用脉冲Nd:YAG(λ=1.06μm)固体激光加工机，设计了超音速喷嘴，利用切割时高速辅助气流对陶瓷基体的去除和冷却作用，结合激光切割参数的优化，研究影响重铸层及裂纹的因素，力求获得最小重铸层厚度和裂纹长度的复合气流切割方法，在较高切割速度下一次完成切割过程。 2　试验条件及方法2.1　试验材料　　试验材料为热压Al2O3结构陶瓷，其中：电子工业用Al2O3结构陶瓷厚度为1.0mm，Al2O3－SiC纳米复合结构陶瓷厚度为3.5mm。2.2　试验设备及仪器　　试验设备为五轴联动脉冲Nd:YAG激光加工机。