新风空调箱操作维护指导书.docVIP

新风空调操作维护 版本与更改记载 版本 实施日期 记 载 编制 审核 批准 A/0 2012/04/01 首版 1目的 确保机组的正常运行操作和良好的维护保养，保证机组正常运行， 2适用范围 本规程规定了天加新风机组运行操作步骤，内容，方法等等，适用于天加新风机组的操作。 整个系统包括新风系统，回风系统，空气过滤装置，冷热盘管，喷雾加湿系统，管线及末端送回风装置。 3 职责 权责范围为厂务动力部，负责MAU新风空调箱的运行操作及维护保养工作。 4定义 新风空调箱是空调送风系统核心，保证无尘室正压及温湿度环境的生产需求。 5控制内容 5.1工作流程： 5.1.1全新风机组由离心式风机、冷热交换装置，板式/袋式过滤器及高效过滤器、箱体等组成。新风机通过风管从室外抽取新风，通过过滤、加湿/除湿、预热/表冷/再热处理，送入洁净室内； 5.1.2采用MAU+FFU+DCC方式控制洁净室内温湿度及压差；100级与1000级区域采用上送下回的气流方式，10000级区域采用上送侧回的气流方式； 5.2供给区域： 5.2.1洁净室1FL LAPPING ROOM（10000级）； MOCVD1/2 ROOM（10000级）； THIN FILM1/2 ROOM（10