第13章材料分析方法.pptVIP

第二篇 材料电子显微分析 第八章 电子光学基础 第九章 透射电子显微镜 第十章 电子衍射 第十一章 晶体薄膜衍衬成像分析 第十二章 高分辨透射电子显微术 第十三章 扫描电子显微镜 第十四章 电子背散射衍射分析技术 第十五章 电子探针显微分析 第十六章 其他显微结构分析方法 第十三章 扫描电子显微镜 扫描电子显微镜的成像原理与透射电镜完全不同， 不是利用电磁透镜聚焦成像， 而是利用细聚焦电子束在样品表面扫描，用探测器接收被激发的各种物理信号调制成像 目前，扫描电子显微镜二次电子像的分辨率已优于 3nm，高性能的场发射枪扫描电子显微镜的分辨率已达到 1nm 左右，相应的放大倍数可高达30万倍 与光学显微镜相比， 扫描电子显微镜不仅图像分辨率高，而且景深大，因此在断口分析方面显示出十分明显的优势 扫描电子显微镜开始发展于20世纪 60年代，随其性能不断提高和功能逐渐完善， 目前在一台扫描电镜上可同时实现组织形貌、微区成分和晶体结构的同位分析， 现已成为材料科学等研究领域不可缺少的分析工具 第十三章 扫描电子显微镜 本章主要内容 第一节 电子束与固体样品作用时产 生的信号 第二节 扫描电子显微镜的构造和工 作原理 第三节 扫描电子显微镜的主要性能 第四节 表面形貌衬度原理及其应用 第五节 原子序数衬