Centrotherm扩散炉小车Slider无法进出的处理流程.docVIP

题 目：Centrotherm扩散炉小车无法进出的处理流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 1. 当系统出现这样的提示报警，点击OK。如下图： 2. 检查感应器，是否有异常报警。如下图： 1min 5min 1人 2人 题 目： Centrotherm扩散炉小车无法进出的处理流程 文件号： 版本号： 修订状态：0 发布日期： 流 程 图 操作过程 注意事项 所需工具 所需工时 备注 时间 人员 3.查看是否有操作人员在警戒线内或者护栏被踢入警戒线内，导致感应器报警。如下图： 4．扶正护栏，使警戒线内没有物体，然后消除报警。 1min 5min 1min 1人 1人