金刚石薄膜解析.pptVIP

金刚石薄膜及其应用 --Diamond Carbon Films 概 述 金刚石是自然界中硬度最高的物质，金刚石的热导率是所有已知物质中最高的，室温（300K）下金刚石的热导率是铜的5倍。 金刚石是一种宽禁带材料，其禁带宽度为5.5eV，因而非掺杂的本征金刚石是极好的电绝缘体，它的室温电阻率高达 金刚石透光范围宽，透过率高，透射性能优良。 金刚石具有极好的抗腐蚀性和优良的耐气候性等特点。 概 述 研究证实，用化学气相沉积法制备的金刚石薄膜，其力学、热学、光学等物理性质已达到或接近天然金刚石。 这些优异性能使得它在机械工业、电子工业、材料科学及光学领域中有着广阔的应用前景，是一种新型材料。 表1列出了天然金刚石与CVD金刚石薄膜的主要物理性能的比较。 表1 天然金刚石和CVD金刚石薄膜的物理性质 表2 国内外金刚石薄膜的研究情况对照 金刚石薄膜的结构 金刚石虽是一种原子构成，但是它的晶格是一个复式格子，由2个面心立方的布喇菲原胞沿其空间对角线位移1/4的长度套购而成，金刚石结构的结晶学原胞如图所示，在1个面心立方原胞内有4个原子，这4个原子分别位于4个空间对角线的1/4处。 金刚石薄膜的制备方法 图1是碳的相图，从碳的相图看，只有离子束法需高真空，而热丝CVD法和微波等离子体CVD法在低真空下就能合成金刚石薄膜，直流等离子体喷射法和火焰法可以在常压下进行。 这些区域都是石墨的