三、检测方法: 1.条件 ①温湿度,符合相应的生产工艺并在合格范围内;压差,洁净度相同洁净室之间≥10pa,相同洁净级别的相邻房间保持一定的压差梯度。 ②静态测试与动态测试,静态监测室内人员不得多于2人。 ③测试时间:对单向流,测试应在净化空调系统运行时间不少于10min开始。 对非单向流,测试应在净化空调系统运行时间不少于30min开始。 2.采样点及其布置 在空态或静态测试时,悬浮粒子采样点数目及其布置应力求均匀,并不得少于最少采样点数目,采样点布置规则见附表一。在动态测试时,悬浮粒子采样点数目及其布置应根据产品的生产及工艺关键操作区设置。 附表一 洁净室(区)采样点布置宜力求均匀,避免采样点在局部区域过于稀疏。下列多点采样的采样点布置图示可作参考。(见图附表一) 采样次数的限定 对任何小洁净室(区)或局部空气净化区域,采样点的数目不得少于2个,总 采样次数不得少于5次。每个采样点的采样次数可以多于1次,且不同采样点的采 样次数可以不同。 最少采样点数目 悬浮粒子测试最少采样点数目可在以下两种方法中任选一种: a) NL= ……………………(1) 式中: NL—最少采样点; A—洁净室或被控洁净区的面
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