《传感器第5章.pptVIP

由等效电路可知， 它有一个谐振频率，通常为几十兆赫。 当工作频率等于或接近谐振频率时，谐振频率破坏了电容的正常作用。因此，工作频率应该选择低于谐振频率，否则电容传感器不能正常工作。  传感元件的有效电容Ce可由下式求得(为了计算方便，忽略Rs和Rp): (5-27) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 在这种情况下，电容的实际相对变化量为 (5-28) 式(5-28)表明电容式传感器的实际相对变化量与传感器的固有电感L的角频率ω有关。 因此，在实际应用时必须与标定的条件相同。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 5.4 电容式传感器的测量电路 5.4.1 调频电路 调频测量电路把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分, 当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。虽然可将频率作为测量系统的输出量，用以判断被测非电量的大小，但此时系统是非线性的，不易校正，因此必须加入鉴频器，将频率的变化转换为电压振幅的变化，经过放大就可以用仪器指示或记录仪记录下来。调频式测量电路原理框图如图5-11所示。 图中调频振荡器的振荡频率为 (5-29) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 式中： L——振荡回路的电感；  C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，其中C1为振荡回路固有电容, C2为传感器引线分布电容, Cx=C0±ΔC为传感器的电容。 图5-11 调频式测量电路原理框图 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0, 其表示式为 (5-30) 当被测信号不为0时，ΔC≠0， 振荡器频率有相应变化， 此时频率为 (5-31) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度， 可以测量高至0.01μm级位移变化量。信号的输出频率易于用数字仪器测量， 并与计算机通讯，抗干扰能力强， 可以发送、 接收， 以达到遥测遥控的目的。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 5.4.2 运算放大器式电路 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高, 运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器的比较理想的测量电路。图5-12是运算放大器式电路原理图, 图中Cx为电容式传感器电容；Ui是交流电源电压; Uo是输出信号电压; Σ是虚地点。 由运算放大器工作原理可得 . . (5-32) 如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d，代入式(5-32)，可得 (5-33) Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 式中“-”号表示输出电压Uo的相位与电源电压反相。式（5-33）说明运算放大器的输出电压与极板间距离d成线性关系。 运算放大器式电路虽解决了单个变极板间距离式电容传感器的非线性问题，但要求Zi及放大倍数足够大。为保证仪器精度， 还要求电源电压Ui的幅值和固定电容C值稳定。