CH4电容式传感器..docVIP

CH4 电容式传感器 原理: 电容式传感器是将被测量(如尺寸、压力等)的变化转换成电容量变化的一种传感器。 应用:位移量、力学量、振动量。 特点:结构简单、灵敏度高、动态响应好、可实现非接触测量。 4.1 电容式传感器的工作原理及类型 1、工作原理 由物理学可知，两个平行金属极板组成的电容器，如果不考虑其边缘效应，其电容为 式中 ε--两个极板间介质的介电常数； s--两个极板相对有效面积； d--两个极板间的距离 由上式可知，改变电容C的方法有三种，其一为改变介质的介电常数ε；其二为改变形成电容的有效面积；其三为改变两个极板间的距离。而得到电参数的输出为电容值的增量ΔC，这就成了电容式传感器。 2、类型 根据上述原理，在应用中电容式传感器可以有三种基本类型，即变极距(或称变间隙）型、变面积型和变介电常数型。它们的电极形状有平板形、圆柱形和球平面形三种。 4.2 电容传感器的灵敏度及非线性 这里我们先讨论变极距型的平板电容传感器的灵敏度。 假设极板间只有一种介质，如图4-1情况。对单极式电容表达式为： 其初始电容值为： 当极板距离有一个增量时，则传感器电容为： 可求得 当 当时，灵敏度 只有比值很小时才可认为是接近线性关系，这就意味着使用这种形式传感器时，被测量范围不应太大。为在比较大的范围内使用此种传感器，可适当的增大极板间的初始距离 ，以保证比值不致过大，但会带来灵敏度下降的缺点，同时也使电容传感器的初始值减小，寄生电容的干扰作用将增加。 ??常采用差动式电容传感器，如图所示。 则有， 可见灵敏度比单极式提高一倍。 ??变面积型和变介电常数型(测厚除外)电容传感器具有很好的线性。但它们的结论都是忽略了边缘效应得到的。实际上由于边缘效应仍存在非线性问题，且灵敏度下降，但比变极距型好得多。 4.3 电容传感器的特点及等效电路 1．电容传感器的特点 （1）优点： ①温度稳定性好；②结构简单、适应性强；③动态响应好；④可以实现非接触测量，具有平均效应点。 （2）缺点： ①输出阻抗高，负载能力差；②寄生电容影响大；③输出特性非线性。 2．等效电路: 等效电容 等效灵敏度 可见等效灵敏度随激励频率而改变。 4.4 电容传感器的设计要点 1、保证绝缘材料的绝缘性能 必须从选材、结构、加工工艺等方面来减小温度等误差和保证绝缘材料具有高的绝缘性能。 2、消除和减小边缘效应 边缘效应不仅使电容传感器的灵敏度降低而且产生非线性，因此应尽量消除或减小它。 3、消除和减小寄生电容的影响 寄生电容与传感器电容相关联，影响传感器的灵敏度，而它的变化则为虚假信号影响仪器的精度，必须消除和减小它。 4、防止和减小外界干扰 4.5 电容式传感器的转换电路 电容式传感器把被测量转换成电路参数C0，从而使信号能传输、放大、运算、处理、指示、记录、控制，得到所需的测量结果或控制某些设备工作。 同时，还根据需要将电路参数C进一步转换成电压、电流、频率等电量参数。目前这样的转换电路种类很多，一般归结为两大类型:调制型、脉冲型(或称为电容充放电器)。 1、调制型电路 （1）调频电路 当电容传感器未工作时，则，即为传感器的初始电容值，此时振荡器的频率为一常数，有 （通常选在1MHz以上） 当电容传感器工作时，则，为电容变化量，则谐振频率相应的改变量为，即 (2)调幅电路 图4-6 电容式传感器构成交流电桥 如果，, 则有 电桥的输出电压与输入量成线性关系。 2、脉冲调宽电路 (差分式) 对于变极距差分式电容器： 对于变截面差分式电容器： 4.6 电容式传感器的应用举例 电容传感器可用来测量直线位移、角位移，振动振幅(可测至0.05μm的微小振幅)，尤其适合测量高频振动振幅、精密轴系回转精度、加速度等机械量，还可用来测量压力、差压力、液位、料面、粮食中的水分含量、非金属材料的涂层、油膜厚度、测量电介质的湿度、密度、厚度等等。在自动检测和控制系统中也常常用来作为位置信号发生器。 当测量金属表面状况、距离尺寸、振动振幅时，往往采用单电极式变极距型电容传感器，这时被测物是电容器的一个电极，另一个电极则在传感器内。 图4-19 差动式电容压力传感器(变极距差分式电容器) 图4-20 一种差动式电容测压传感器（变极距差分式电容器） 图4-21 电容式加速度传感器结构示意图（变极距差分式电容器） 图4-22 电容式料位传感器（变介质式电容器） 图4-23 电容式振动位移传感器（单电极） 图4-24 电容