《3.二次离子质谱SIMS.pptVIP

二次离子质谱 SIMS—优点： 一种“软电离”技术，适于不挥发的热不稳定的有机大分子 得到样品表层真实 信息 分析全部元素（同 位素） 实现微区面成分分 析和深度剖析 灵敏度很高，动态 范围很宽 Secondary Ion Mass Spectroscopy(SIMS) ： SIMS—原理示意图： 影响二次离子产额的因素： 初级离子的能量 入射角度 原子序数 晶格取向 Is=Ipγocαf IS: secondary ion current Ip: primary ion current γo:total sputter yield c: fractional concentration of an element α: degree of ionzation f: mass spectrometer transmission by Helmut W. Werner SIMS—二次离子质谱仪： SIMS—离子源： 热阴极电离型离子源 双等离子体离子源 液态金属场离子源 SIMS—质量分析器： 四极质谱计（Quadrupole Mass Spectrometer） 双聚焦磁偏转（Double Focusing Magnetic Secto