第二章电子光学基础讲述.ppt

2.色差 玻璃透镜对不同波长的光具有不同的焦距，磁透镜对不同能量的电子也有不同的会聚能力，这正是引起色差的原因。如图所示 其效果与球差相似，在轴向距离范围内也存在一个最小的色差弥散圆斑，半径为 rC： Cc为透镜的色差系数，随激励磁电流增大而减小。 引起能量变化的主要原因为： 电子加速电压不稳定，引起照明电子束能量的波动。 电子与物质相互作用后，电子能量受到损失。 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 像散 像散是由于透镜磁场不是理想的旋转对称磁场而引起的像差。主要是生产工艺、透镜污染，使透镜磁场不完全旋转对称，而只是近似的双对称场。这样产生在透镜的XZ、YZ两个对称面方向的焦距不同，使物像不能聚焦，形成弥散的椭圆斑，最小的弥散圆斑半径为rA：如图所示 由于这种像散发生在轴上，因此也称为轴上像散。像散将影响电镜的分辨能力，一般电镜中都有消像散器，可以把像散校正到容许的程度。 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 2.2 电子光学基础 2.2.4电磁透镜的像差和理论分辨本领 4.电磁透镜的分辨本领 是电磁透镜的最重要的性能指标，它受衍射效应、球差、色差和像散等因素的影响。电磁透镜的理论分辨本领为