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一、电子束与样品作用 1 为什么电子显微分析方法在材料研究中非常有用？ 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作用产生各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成。与其他的形貌、结构和化学组成分析方法相比，具有以下特点： 1）具有在极高放大倍率下直接观察试样的形貌、结构和化学成分。 2）为一种微区分析方法，具有很高的分辨率达到0.2—-0.3nm(TEM)，可直接分辨原子，能进行纳米尺度的晶体结构及化学组成分析。 3）各种仪器日益向多功能、综合性方向发展。 电子显微镜用于电子作光源，波长很短，且用电磁透镜聚焦，显著提高了分辨率，比光学显微镜提高了1000倍，可以对很小范围内的区域进行电子像、晶体结构、化学成分分析研究；样品不必复制，直接进行观察，可以观察试样表面形貌，试样内部的组织与成分。 1）观察材料的表面形貌；2）可以用来研究样品的晶体结构和晶体取向分布；3）可以进行能固体能谱分析。以上三个方面对于研究材料的性能与微观组织和成分的关系有很大的帮助。（李颖，简明扼要，有自己的理解） 另一个较好的答案： 电子显微分析技术采用电子束代替传统的可见作为光源，其波长很小，因此相对于可见光，它的分辨率更高，可以观察更微小的物质，便于分析；同时SEM对于容易制样，同时也可以在不损坏样品的情况下观测和分析样品的形貌，配合能谱仪等探针还可以对其化学成分进行分析，因此在材料研究中非常有用。 2. 电子与样品作用产生的信号是如何被利用的？扫描电镜利用了那几个信号？ 高能电子束与试样物质相互作用，产生各种信号，这些信号被相应的接收器接收，经过放大器和处理后，可以获得样品成分和内部结构的丰富信息。背散射电子和二次电子主要应用于扫描电镜；透射电子用于透射电镜；特征X射线可应用于能谱仪，电子探针等俄歇电子可应用于俄歇电子能谱仪吸收电子也可应用于扫描电镜，形成吸收电子像。 2）二次电子。二次电子是指被入射电子轰击出来的核外电子。二次电子来自表面50-500 ?的区域，能量为0-50 eV。它对试样表面状态非常敏感，能有效地显示试样表面的微观形貌。 4）透射电子。如果样品厚度小于入射电子的有效穿透深度，那么就会有相当数量的入射电子能够穿过薄样品而成为透射电子。样品下方检测到的透射电子信号中，除了有能量与入射电子相当的弹性散射电子外，还有各种不同能量损失的非弹性散射电子。其中有些待征能量损失 5）特征X射线。特征X射线是原子的内层电子受到激发以后，在能级跃迁过程中直接释放的具有特征能量和波长的一种电磁波辐射。如果用X射线探测器测到了样品微区中存在某一特征波长，就可以判定该微区中存在的相应元素。射线的形式释放，而是用该能量将核外另一电子打出，脱离原子变为二次电子，这种二次电子叫做俄歇电子。俄歇电子是由试样表面极有限的几个原于层中发出的，这说明俄歇电子信号适用于表层化学成分分析。3. 属于弹性散射的信号有哪几个？ 高能电子束与试样物质相互作用产生各种信号. 弹性散射是入射电子与样品原子核的相互作用的结果,电子的能量没有变化。属于弹性散射的信号是背散电子, 以及透射电子的大部分。 4. 荧光X射线、二次电子和背散电子哪一个在样品上扩展的体积最大？ 答：不同的信号在样品中穿透的体积各不相同，对于荧光X射线、二次电子和背散电子来说，二次电子从表面5-10nm层发射出来，能量为0-50eV，被散电子从试样的0.1-1微米的深处发射出来，能量接近入射电子能量。荧光X射线与特征X射线波长相同，特征X射线是从试样的0.5-5微米的深处激发出来。因此荧光X射线的扩展体积最大，被散电子的其次，二次电子的扩展体积最小。（崔琦） 在铝合金中距离样品表面0.5um的亚表层有一块富铜相。是否可以用二次电子或者背散电子看到它？请详细解释原因。 答：可以用背散电子看到。 原因：二次电子为调制信号时，由于二次电子能量比较低（小于50eV），在固体样品中的平均自由程只有1-10nm，只有在表层5-50nm的深度范围内二次电子才能逸出样品表面。背散射电子作为调制信号时，由于背散射电子能量比较高，逃逸深度比二次电子大得多，可以从样品中较深的区域逸出（约为有效作用深度的30%左右）。具体说来，根据课件中提供的资料，铝样品中背散电子的逃逸深度是0.35RKO，而在10 kV, 20 kV, 30 kV加速电压下的RKO分别为1.3，4.2，8.2 um，所以对应背散电子的逃逸深度是0.46，1.47，2.87 um，在大于20kV的电压下接收到表层0.5 um的信号，即可以看到。 二、二次电子与背散电子 1.解释扫描电镜放大倍率的控制方法。 答：当入射电子束作光栅扫描时，若电子束在样品表面扫描的幅度为As，在荧光屏上阴极射线同步扫描的幅度为Ac，则扫描电子显微镜的放大倍数为：M＝