N-3.3 电容式传感器.pptVIP

* * n－动尺栅级片数 a , b－栅极片长度和宽度 C Cmax 0 a W 3a 2W x 柱状圆容栅 r2 , r1 － 圆盘栅极片外半径和内半径 a － 每条栅极片对应的圆心角（rad） (2) 容栅传感器电极的结构形式 （a）直电极反射式 （b）直电极透射式 （c）反射式L型电极 (a)直电极反射式 结构形式简单，使用方便， 移动过程中，导轨的误差对测量精度影响较大 (b)直电极透射式 测量调整方便、安装误差和运行误差的影响降低、制造安装困难 (c)反射式L型电极 增大反射电极的面积，增加耦合的电容量， 提高传感器的灵敏度，增强抗干扰能力和提高稳定性 (3) 信号处理方式 鉴幅式测量电路 系统可达到0.001mm分辨力，主要在测长仪上使用， 鉴相式测量电路 系统分辨力为0.01mm，主要在电子数字显示卡尺等数显量具上使用。 （a）鉴幅式测量系统 （b）鉴相式测量系统 式中，Um——发射电极激励信号基波电压幅值； ω——发射电极激励信号基波电压的频率。 设 设 ?反映了传感器输出电压相位的变化规律，而?又与位移x有关， 故通过测量输出电压的相位，就可间接的测量位移的大小。 鉴相式测量电路具有较强的抗干扰能力。 鉴相式测量电路在理论上还存在非线性误差， 同时由于激励电压含有高次谐波，影响