BSF理论与机理总结.pptVIP

1.BSF基本理论 BSF的发展是一个重大进步，经历了30年的发展。背表面的重掺杂，B、Al同属于第三主族元素，形成背部的反射场，提高了电池片的内量子效率。 优化和控制BSF的性能具有重要的意义，例如掺杂的曲线和BSF的厚度（钝化性能），硅片弯曲，背电场的反射率，BSF的均匀性等参数都会对电池片的性能产生重要的影响。 主要试验用品：a. Al浆料：Ferro53-038， b. 硅片：(100)晶相 c. RTP炉 2.BSF形成的基本过程 2.1 典型烧结曲线及BSF形成的温度区间 2.2 从Al－Si相图看Al与Si的反应过程 2.3 BSF形成的基本过程及模型 2.1 典型烧结曲线及BSF形成的温度区间 BSF形成的温度区间位于：2－6区间 2.2 从Al－Si相图看Al与Si的反应过程 2到6的过程反应了Al－Si合金在烧结过程中Si在 Al中的熔解和分凝过程 2.3 BSF形成的基本过程及模型 3.氧化层与烧结气氛 3.1 Al浆烧结前后微观形貌的变化 3.2 氧化层的厚度 3.3 烧结气氛的影响 3.1 Al浆烧结前后微观形貌的变化 EDX分析表明：烧结后浆料中含有了Si和O原子 3.2 氧化层的厚度 对比burnout后和烧结后的重量，表明烧结过程中，1％的Al被氧化。 3.3 烧结气氛的影响 纯N2气氛下烧结，浆料不稳定并且会导致浆料坍塌，收缩 纯O2气氛下烧结，Al浆料易发生鼓泡破裂，通常会导致硅片破裂 4.Al-Si内界面研究 4.1 Al-Si界面基本状态 4.2 Al-Si界面薄层微观结构 4.3 BSF反射模型 4.1 Al-Si界面基本状态 4.2 Al-Si界面薄层微观结构 4.2 Al-Si界面薄层微观结构 4.3 BSF反射模型 BSF的反射率大致在75-80％之间 导致BSF反射率低的原因有： 1.背面粗糙度过大； 2.烧结后的BSF不连续 RBSF＝(1-Rfca)×【0.9*90%(Si-Al)+0.1*0%(片层结构)】 Rfca－－自由载流子吸收率； 90％的BSF是被Si－Al合金层覆盖； 10％的BSF是被片层状结构覆盖。 5. BSF生长的影响因素 红黑线比较： 保温时间延长，BSF增厚 绿黑线比较： 升温速率变慢，BSF增厚 红蓝线比较： 升温速率过快，BSF变薄 绿黑线比较： 升温速率慢，则Al可已充分利用。 反之，升温速率快，保温时间变短，也可以使Al充分利用 6. 不均匀BSF的形成 6.1 Al扩散沉积的不均匀 6.2 Al－Si 凝聚偏聚 6.1 Al扩散沉积的不均匀 6.2 Al－Si 凝聚偏聚 7 结论 1.烧结气氛中充足的氧气供量对于加厚和强化用以包裹液态铝和硅氧化物壳层至关重要。 2.硅铝的合金化过程发生于浆料颗粒和硅片的紧密接触处。 3.为了形成紧密的BSF层，在烧结温度的峰值处要形成Al-Si的合金溶液，通常铝的比例和成分要求最少6mg/cm2 。 4.大成分含量的Al（大于10 mg/cm2）用的并不是很多。烧结后，通常会在BSF和浆料颗粒之间形成一层很薄的但是紧密接触的Al-Si共晶相。这一层决定了内反射率，这一结论和近80%的近期研究结果相近。 Thank you