CIGS工艺布局总结.ppt

目录 工艺布局—Upper Floor 工艺布局—Lower Floor 工艺设备数量 工艺设备数量 Best SOLAR Report Date：2008-11-06 工艺布局介绍 2009-03-19 本资料仅供BEST内部参考使用 Nicky 工艺布局图及工艺流程 工艺设备的整体规划 MHS 设备的区域划分 MHS具体位置 工艺设备的数量 Laser 1 WSH 1 ASEM Input 1 WSH 2 PECVD Laser 2 PVD Laser 3 QASR From Here to Lower Level Glass Cutter Lower Level Start from here SEMB WSH 3 Bus line JBOX SOL PVBC Input 2 WSH4 Laminator Autoclave Zone 25 Zone 23 Zone 20 Zone 19 Zone 18 Zone 17 Zone 16 Zone 15 Zone 14 Zone 13 Zone 10 Zone 30 Zone 32 Zone 34 Zone 36 Zone 36 MATERIAL HANDLING SYSTEM EQUIPMENT物料传送系统 Front Glass loader Robot Accumulator CVD loader1 CVD loader3 CVD loader15 CVD loader17 CVD loader19 CVD loader21 CVD loader23 Accumulator Accumulator Accumulator Accumulator Elevator MATERIAL HANDLING SYSTEM EQUIPMENT物料传送系统 Back Glass loader Robot Unloader Robot Unloader Robot Loader Robot Loader Robot Unloader Robot Unloader Robot PVBBack Glass pairing station Glass Cutter Glass Cutter PVBT PVBC 控制玻璃的热冷温度 25 12 热冷工作站 在玻璃上刻线 25 12 激光划线机 清洗第一次刻线后的TCO玻璃 2 1 清洗机 2 清洗后端磨边后的TCO玻璃 4 2 清洗机 3 微晶硅化学沉积系统 15 5 UC-Si PECVD 非晶硅化学沉积系统 5 2 A-Si PECVD 清洗背板玻璃 2 1 清洗机 4 清洗TCO玻璃 3 1 清洗机 1 打磨TCO玻璃的棱边 3 1 前段磨边机 把TCO玻璃装载至生产线 2 1 装载机械手 功能说明 总体数量 一期数量 工艺设备名称 PECVD的反应室、传送室、装片室之真空泵 180 63 PECVD Pump 处理工艺腔体内产生的各种废气 140 49 PECVD Abatement 把接线盒安装到电池板的金属导体引出的两个接点上 4 2 接线盒安装/测试设备 太阳能模拟测试 4 2 太阳能模拟设备 用金属导体将太阳能电池板上的电池模块串连，引出两个可以外接的触点 4 2 接线机 对夹层玻璃加温和加压，使PVB胶熔化，去除玻璃 /PVB/玻璃之间的空隙 4 2 层合机 整个生产流水线工艺设备间传送玻璃 -- -- 物料传送系统 对夹层玻璃加温加压，使玻璃与PVB胶全面结合牢固 4 2 高温炉 自动磨边、切边、倒角 4 2 后段磨边机 检测产品质量 4 2 质量检测机 物理镀膜形成背面电路 4 2 PVD 功能说明 总体数量 一期数量 工艺设备名称 Best SOLAR