1 热工测量基础知识.ppt

五、扩散硅式压力变送器 扩散硅压力变送器敏感元件是用单晶硅制成(常称为硅杯)，它把感受压力及将压力转换成电信号的双重功能在一个组件上完成，即采用集成电路技术直接在硅杯上制成应变电阻并接成测量电路以及带有补偿电路、放大电路等。 特点：这种应变片由于基底和导电层(敏感元件)互相渗透，结合紧密，即两者基本上是一体，故稳定性好，滞后和蠕变极小。 半导体的电阻变化率主要由压电效应造成 ： 图3-24 1—低压腔 2高压腔 3—硅杯 4—引线 5—硅膜片 6—扩散电阻 六、振弦式压力变送器 弹性元件在力或压力的作用下，其谐振频率(固有频率)会发生变化，利用此变化来测量压力的仪表叫弹性振动式压力仪表，振弦式压力变送器是其中的一种，它将被测压力变换成频率信号，通过测量钢弦的谐振频率来测量压力或差压。这样不仅抗干扰性能强，也便于远距离传送，且便于用数字显示。 振弦式压力变送器的振弦由钢丝制成，两端由支承拉紧。上支承固定，下支承连在感压膜片上。振弦中间有一小块纯铁，置于磁场缝隙之中。当膜片的下部通入被测压力时，振弦的原始张力(应力)随着被测压力变化而发生变化，振弦的固有频率也随之发生变化。 振弦的固有频率f与振弦的几何尺寸、材料性质及其张力(应力)有关，当忽略阻尼时，其关系式为 ： 式中，l，T—振弦的长度及张力； ρ′—振弦材料的线密度，即单位弦长的质量； ρ—振弦材料的密度