[准单晶生长原理.docVIP

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  • 2017-01-06 发布于北京
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[准单晶生长原理

准单晶生长原理 首先,关于晶体生长,其本质就是一个从液相变成固相的凝固问题,凝固是从形核开始,之后是晶体的长大。形核需要形核功从而克服相变阻力形成固相晶核。形核功取决于形核时的外界条件,最有利的条件是具有相同晶体结构的同种固相衬底,其次是具有不同润湿性能的异相衬底,从液相中“无中生有”的形核需要的形核功要大的多。解释完形核的问题,我们现在应该清楚了,若是在熔体中存在同质的晶种,会提供最佳的凝固起始点。 其次是生长的驱动力,这主要是温度。当温度低于晶体的熔点时,它会促使液固相变的进行,也就是晶体的生长。 因此,当同质的晶种处于固液界面且温度低于熔点时,此晶种就会成为择优生长界面。当然,对于复杂的晶体体系来说,在特定的温度条件下,有时异质的衬底界面可以提供相对于某些同质晶种更好的生长条件。 铸造是一种晶体生长方法。现有的硅铸锭炉,形核是从带有涂层的石英坩埚的底部异质形核的,随后在定向温度梯度的驱动下自下而上的完成生长。若是在坩埚底部铺上晶种,在合理的温度梯度下,凝固就会优先从晶种开始进行外延生长,从而获得与晶种晶体结构一致的晶体。在实际操作中,随着坩埚容积的增大及带有涂层的坩埚壁的异质形核作用,加上不均匀的温度分布,都可以为异质形核提供理想的条件,从而使得实际获得的铸锭中含有很多来自于非籽晶的晶粒。当然,这些晶粒的比例可以通过优化工艺、热场设计等途径加以改善。 最后再说说铸

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