- 1、原创力文档(book118)网站文档一经付费(服务费),不意味着购买了该文档的版权,仅供个人/单位学习、研究之用,不得用于商业用途,未经授权,严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等,侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传,本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺!文档内容仅供研究参考,付费前请自行鉴别。如您付费,意味着您自己接受本站规则且自行承担风险,本站不退款、不进行额外附加服务;查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档,您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等,请点击“版权申诉”(推荐),也可以打举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 5、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
                        查看更多
                        
                    
                GT多晶炉维护手GT多晶炉维护手册
                    GT 多晶炉维护手册.txt20如果你努力去发现美好,美好会发现你;如果你努力去尊重他人,你也会获得别人尊重;如果你努力去帮助他人,你也会得到他人的帮助。 生命就像一种回音,你送出什么它就送回什么,你播种什么就收获什么,你给予什么就得到什么。Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 
 
GT 多晶炉维护手册 
  
GT Solar Technologies 
Direction Solidification System 
(DSS) 
  
Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 
 
前言
这本手册有保养,维修GT DSS 多晶炉的重要资料。这些资料对于有效率的使用
和保养多晶炉很重要,因此使用前一定要熟读并且了解来预防问题的发生。
 
手册内容:
 
前言:安全考量
 
第一单元:预防性保养
z 预防性保养日程安排规阵
z 预防性保养程序
 
第二单元:维修
 
z 更换热电偶和保护层
z 安装/拆除DS 块
z 安装炉闸
z 调整低炉和隔热笼的高度
z 安装/拆除加热器
z 安装/拆除隔热层
z 安装/拆除电极管
z 清洗氦气阀
z 清洗水流探测器
 
第三单元:故障指导
z 解决警铃声响
z 解决设备故障
z 解决操作问题
 
Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 
 
安全考量
 
安全标志:
以下安全标志将会出现在本手册,来提醒使用者注意特殊情况或告知有可能的危
险。请确保维修人员,安装人员熟悉这些标志。
 
危险---- 出现此标志代表所讲述的情况很危险,如果不避免的话可能会导致死
亡或严重伤亡。只有合格的人员才能处理此类型状况。 
 
警告 ---- 出现此标志代表所讲述的情况有危险,会造成重伤。只有在完全了解
了警告的讯息,才能开始进行。 
 
小心 ---- 出现此标志代表所讲述的情况可能会导致零件故障,中度受伤或资料
遗失。 
 
注意 ---- 出现此标志代表提供重要的相关资料,提醒或建议。 
 
安全措施: 
所有操作人员一定要遵守手册里的安全规范。 
 
z 在处理石墨块时一定要戴耐高温手套。 
z 在硅碇出炉时,硅碇温度大于400℃,绝对不能触碰。 
z 硅碇在出炉时会快速冷却,这会导致坩埚裂开。操作时请戴工用眼镜。 
z 设备多处有高压电,高热度部位,请注意设备上的安全标示。 
z 当接近有高压电处,请确保你有只手放在口袋里。 
z 操作时请穿橡胶底的鞋子。 
z 操作时一定要小心,不要自以为是。 
z 机器不使用时真空泵一定需关上。 
 
Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 
 
第一单元:预防性保养
 
z 参考用( 预防性保养日程表)
 
z 真空测量器校准
大量程的真空测量器
精密的真空测量器
 
z 真空泵系统维修
更换油 – 机械泵
更换油 – 罗茨泵
检查轴带
检查在支持泵上的电磁继电器
 
z 底炉下降系统
螺旋启动器
软轴
闸门
离合器
 
z 水电缆
z 控制平台
 
 SlimPaks 
z SlimPak AC 测量
z SlimPak DC 测量
z 气体流量控制器
z 检查比率阀
 
清洗比率阀
z 检查热区
 
Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 
 
参考用( 预防性保养日程表)
建议依照以下时间表定期执行预防性保养:
 
维修项目执行时间
真空测量器校准每3 个月一次
真空泵系统维修请参照供应商所提供的资料
检查油量一星期一次
更换油 –机械泵每6 个月一次
更换油 – 罗茨泵每6 个月一次
检查轴带每6 个月一次
检查在支持泵上的电磁继电器一个月一次
检查底炉下降系统:
螺旋启动器
软轴
每3 个月一次
一个月一次
闸门一个月一次
离合器一个月一次
水电缆每6 个月一次
检查控制平台与其附属设备一个月一次
电源供应系统校准每3 个月一次
检查SlimPak 每6 个月一次
检查与校准气体流量控制器一个月一次
检查比率阀一个月一次
清洗比率阀每3 个月一次
检查热区一个月一次
 
Zhenjiang Huantai Silicon ScienceTechnology co.,Ltd 
 
z 真空测量器校准 – 每3 个月一次
校准真空测量器通常只是调整较零器和检查在大气层的压力值。更完整的校准需
要专业的仪器与工具,因此须由厂家或专业人士来处理。
注意 – 在做任何调整前测量器需要至少运作30 分钟
 
z 大量
                您可能关注的文档
最近下载
- GB50702-2011砌体结构加固设计规范.docx VIP
- SY-BA-29-2011整车后碰撞试验规范.doc VIP
- 2024年广西玉林市中考物理模拟试卷五.docx VIP
- 2025吉林省国资委监管企业招聘527人(2号)考试备考题库及答案解析.docx VIP
- 2024年广西玉林市中考物理试卷与参考答案.docx VIP
- XX卫生院“十五五”发展规划(2025年-2029年).docx VIP
- 第四章 熔化焊与热切割安全用电教案 邢建章.docx VIP
- 弟子规全文带拼音排版好可直接打印.doc VIP
- 污泥处理系统设计计算.pdf VIP
- (高清版)DB32∕T 4025-2021 污水处理中恶臭气体生物净化工艺设计规范.pdf VIP
 原创力文档
原创力文档 
                        

文档评论(0)