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液晶显示器用材料特性简介 第一篇 ITO导电玻璃简介 ITO导电玻璃是在钠钙基或硅硼基基片玻璃的基础上，利用磁控溅射的方法镀上一层氧化铟锡（俗称ITO）膜加工制作成的。液晶显示器专用ITO导电玻璃，还会在镀ITO层之前，镀上一层二氧化硅阻挡层，以阻止基片玻璃上的钠离子向盒内液晶里扩散。高档液晶显示器专用ITO玻璃在溅镀ITO层之前基片玻璃还要进行抛光处理，以得到更均匀的显示控制。液晶显示器专用ITO玻璃基板一般属超浮法玻璃，所有的镀膜面为玻璃的浮法锡面。因此，最终的液晶显示器都会沿浮法方向，规律的出现波纹不平整情况。 在溅镀ITO层时，不同的靶材与玻璃间，在不同的温度和运动方式下，所得到的ITO层会有不同的特性。一些厂家的玻璃ITO层常常表面光洁度要低一些，更容易出现“麻点”现象；有些厂家的玻璃ITO层会出现高蚀间隔带，ITO层在蚀刻时，更容易出现直线放射型的缺划或电阻偏高带；另一些厂家的玻璃ITO层则会出现微晶沟缝。 ITO导电层的特性： ITO膜层的主要成份是氧化铟锡。在厚度只有几千埃的情况下，氧化铟透过率高，氧化锡导电能力强，液晶显示器所用的ITO玻璃正是一种具有高透过率的导电玻璃。 由于ITO具有很强的吸水性，所以会吸收空气中的水份和二氧化碳并产生化学反应而变质，俗称“霉变”，因此在存放时要防潮。 ITO层在活性正价离子溶液中易产生离子置换反应，形成其它导电和透过率不佳的反应物质，所以在加工过程中，尽量避免长时间放在活性正价离子溶液中。 ITO层由很多细小的晶粒组成，晶粒在加温过程中会裂变变小，从而增加更多晶界，电子突破晶界时会损耗一定的能量，所以ITO导电玻璃的ITO层在600度以下会随着温度的升高，电阻也增大。 ITO导电玻璃的分类： ITO导电玻璃按电阻分，分为高电阻玻璃（电阻在150~500欧姆）、普通玻璃（电阻在60~150欧姆）、低电阻玻璃（电阻小于60欧姆）。高电阻玻璃一般用于静电防护、触控屏幕制作用；普通玻璃一般用于TN类液晶显示器和电子抗干扰；低电阻玻璃一般用于STN液晶显示器和透明线路板。 ITO导电玻璃按尺寸分，有14”x14”、14”x16”、20”x24”等规格；按厚度分，有2.0mm、1.1mm、0.7mm、0.55mm、0.4mm、0.3mm等规格，厚度在0.5mm以下的主要用于STN液晶显示器产品。 ITO导电玻璃按平整度分，分为抛光玻璃和普通玻璃。 影响ITO玻璃性能的主要参数： 长度、宽度、厚度及允差（±0.20） 垂直度（≤0.10%） 翘曲度（厚度0.7mm以上≤0.10%，厚度0.55mm以下≤0.15%） 微观波纹度 厚度(mm) 微观波纹度(表面形貌仪测量) 抛光面 镀膜面 1.10 ≤0.05μm/20mm ≤0.10μm/20mm 0.70 ≤0.08μm/20mm ≤0.13μm/20mm 0.55 ≤0.10μm/20mm ≤0.20μm/20mm 0.40 ≤0.15μm/20mm ≤0.25μm/20mm 倒边 C倒边（0.05mm≤宽度≤0.40mm） R倒边（0.20mm≤宽度≤1.00mm，曲率半径≤50mm） 倒角（浮法方向2.0mmX5.0mm；其余1.5mmx1.5mm） SIO2阻挡层厚度（350埃±50埃，550nm透过率≥90%） ITO层光学、电学、蚀刻性能（蚀刻液：600C 37%HCL:H2O:67%HNO3=50:50:3）：见表1-1。 表1-1 膜厚 透过率 （波长550nm） 方块电阻 蚀刻时间 150A±30 A ≥90% ≤180 Ω/口 30 s 150A±30 A ≥88% ≤200 Ω/口 30 s 200A±50 A ≥87% ≤150 Ω/口 30 s 250A±50 A ≥87% ≤100 Ω/口 30 s 300A±50A ≥87% ≤ 80 Ω/口 35 s 350A±50A ≥85% ≤ 60 Ω/口 60 s 400A±50A ≥83% ≤ 50 Ω/口 60 s 450A±50A ≥83% ≤ 45 Ω/口 60 s 500A±100A ≥82% ≤ 40 Ω/口 60 s 700A±100A ≥81% ≤ 30 Ω/口 100 s 900A±100A ≥80% ≤ 20 Ω/口 120 s 1250A±200A ≥85% ≤ 17 Ω/口 150 s 1500A±200A ≥86% ≤ 15 Ω/口 200 s 2000A±250A ≥80% ≤ 10 Ω/口 250 s 化学稳定性： 耐碱为浸入600C、浓度为10%氢氧化钠溶液中5分钟后，ITO层方块电阻变化值不超过10%。 耐酸为浸入250C、浓度为6%盐酸溶液中5分钟后，ITO