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????????〖 干式泵常识 〗Q：什么是涡旋干式真空泵？A：不用油类或者液体密封的变容真空泵。Q：涡旋干式真空泵的特点？A：无油、无污染???? 低噪音、低振动???? 使用寿命长???? 空气冷却???? 配气镇阀、可抽可凝性气体Q：涡旋干式真空泵的主要用途？A：半导体制备设备与处理室抽真空泵； ???? 用于液晶注入系统；???? 分子泵真空系统的前级泵；???? 真空密封泵；???? 冷泵前级；???? 用于科学和化学分析仪器；???? 真空发生器；???? 电子显微镜前级泵。Q：涡旋干式真空泵的主要技术指标？A： 项???? ??? 目 指???? ?????? 标 型号 DVS-631(双侧涡旋型无油真空泵) 抽气速率 525 L/min (8.75 L/s) 50Hz, 630 L/min (10 L/s) 60Hz. 极限真空度 ≤1Pa(气镇阀关闭)，≤2.5Pa(气镇阀开启)。 噪音 ≤58dB(50Hz,), ≤60dB(60Hz,) (气镇阀关闭) 电机 单相鼠笼式电机，全封闭风冷。单相 220V, 50Hz, 4芯, 600W 最大连续进气压力 30,000Pa 最大抽水蒸气能力 23克/小时 电机 4芯，0.6千瓦 电源 三相200V(±10%)50/60Hz(±2Hz) ≥10A 单相100/200V(±10%)50/60Hz(±2Hz) ≥10A 三相220V(±10%)50Hz(±2Hz) ≥10A 电机速度 1425 rpm（50 Hz）1710 rpm（60 Hz） 1430 rpm（50 Hz）1710 rpm（60 Hz） ? 环境温度 5～35 进气口直径 NW40 排气口直径 NW25 外型尺寸 547(L)×326(W)×367(H) 586(L)×326(W)×367(H) 重量 41kg 44kg 漏率 ≤6x10-2Pa L/S 附件 计时器(零件号502365)和说明书 Q：涡旋干式真空泵使用注意事项？A：DVS-631型涡旋干式真空设计用于抽大气。所以不要用此泵抽特殊气体，如易燃气体、含国家特殊化学品规定成分的特殊或高浓度强酸强碱性气体、或半导体工艺中高浓度气体、有机溶剂、结晶气体等。?? 检查确定此真空泵安全接地。?? 此泵工作过程中或刚停机时不要接触泵电机或金属部件（因为工作时很热，最高可能达到70）。如确实需要接触，采取必要防护措施防止受伤。?? 未加风扇盖前，不要启动泵。?? 泵工作条件要求：环境温度5～35。如果超过35，可能引起泵或电机性能下降。?? 此DVS-631型涡旋干式真空泵必须与设计规定电源连接。?? 必须安装电机保护开关。DVS-631型涡旋干式真空泵电机没有热保护开关，电机锁死时不能提供过热保护。必须在泵与电源线之间加电机保护开关，否则电机锁死时可能冒烟甚至起火。?? 不要由一两个人移动此泵。此泵超过40公斤，不要由一两个人移动。?? 移动泵时不要握塑料件，否则塑料件可能破损。?? 不要刮碰进气口与排气口法兰，以免损坏法兰口，导致真空度上不去。如果真空度上不去，更换法兰。?? 在进气口处装真空阀。真空泵停止后进气口处真空度降低，是因为排气口处的大气返至进气口处，不是真空泵的原因。如要保证真空室内的真空度，要在真空室与泵之间安装真空阀。?? 排气口处要接排气管，以防灰尘进入泵内。Q：涡旋干式真空泵加气镇阀时注意事项？A：加气镇阀主要是为了抽包括水蒸气在内的特殊气体，保证泵的良好抽气性能。使用涡旋干式真空泵时，除上述注意事项外，还要注意：?? 不要用此泵抽腐蚀性气体此泵只能抽空气、氮气和水蒸气。不要用此泵抽腐蚀性气体，如有机溶剂、高浓度半导体工艺用气体、高浓度强酸强碱性气体等。这些气体容易使轴承失效。?? 被抽气体水蒸气含量必须少于要求值。如果超过此极限，将缩短气镇阀寿命?? 加滤网使用气镇阀时，必须加滤网。否则可能抽进灰尘。?? 定期检查为了泵正常工作，要对滤网进行定期检查。否则气镇阀不能正常工作。?? 供气要保证加适量的气体使泵高效率工作。Q：涡旋干式真空泵安装地点要求？A：涡旋干式真空泵的安装应满足下述要求：?? 平面放置?? 避免阳光直射?? 环境温度5～35 ；湿度90%，或没有结露?? 通风良好?? 泵附近不得存放化学品或易燃品?? 防潮?? 泵周围环境易于对泵进行清理检验。Q：涡旋干式真空泵与电源连接的注意事项？A：检查确认此泵电源接地良好。?? 检查确认此泵电源为要求值。?? 在此泵与真空室之间安装保护开关。Q：涡旋干式真空