四探针测试仪作业指导书..doc

SDY-4型四探针测试仪作业指导书 1.0 版本Rev. 编写人Prepared by 编写日期Prepared Date 审核人Checked by 审核时间Checked Date 批准人Approved by 批准日期Approved Date 目 录 一. 目 的 ………………………………………………………………………… 003 二. 范 围 ………………………………………………………………………… 003 三. 职 责 ………………………………………………………………………… 003 四. 名 词 定 义 ………………………………………………………………………… 003 五. 内 容 ………………………………………………………………………… 003 六. 安 全 ………………………………………………………………………… 005 七． 设 备 材 料 ………………………………………………………………………… 005 八. 相 关 文 件 ………………………………………………………………………… 005 九. 记 录 ………………………………………………………………………… 005 1. 目的：规范四探针测试仪的操作与维修保养工作。 2. 范围：适用于车间内四探针测试仪的操作与维修保养工作。 3. 职责： 3.1 负责扩散后方块电阻的测试。 3.2 规范操作，为测试数据规范化提供依据。 3.3 负责发现扩散后硅片质量、工艺异常状况时的反映。 4名词定义： 4.1 SDY-4型四探针测试仪 内容: 5.1 仪器介绍： SDY-4型四探针测试仪是根据单晶硅物理测试方法国家标准并参考美国A.S.T.M标准设计的半导体材料电阻率及方块电阻(薄层电阻)测试专用仪器.仪器以大规模集成电路为核心部件,采用平面轻触式开关控制,及各种工作状态LED指示.应用微计算机技术，利用HQ－710E型测量数据处理器，使得测量读数更加直观、快速，整套仪器体积小、功耗低、测量精度高、测试速度快、稳定性好、易操作。 本仪器可满足半导体材料、器件的研究生产单位对材料(棒材、片材)电阻率及扩散层、离子注入层、异型外延层和导电薄膜方块电阻测量的需要。 5.2 仪器电气原理如图（1）所示： 220V电 滤波 恒流 电流选档 样品 A/D 显示 源滤波 稳压 换相控制 测试 转换 图（2）直线四探针法测试原理图 5.4 仪器面板说明如图（3）所示： SDY-4型四探针测试仪主要由主机（电气测量装置）和测试台组成，两部分独立放置，通过连接线联接。 ⑨ ⑩ ① ② ③ ④ ⑤ ⑥ ⑦ ⑧ 图（3）主机前面板说明 按键和旋钮说明如下： ①---主机数字及状态显示器； ②、③、④、⑤---测量电流量程选择按键，共四个量程（0.1mA、1mA、 10mA、 100mA）； ⑥---R□/ρ测量选择按键，开机时自动设置在“R□”位； ⑦---测量电流方式选择按键，开机时自动设置在“I”（电流）位； ⑧---电流换向按键； ⑨---电流粗调电位器； ⑩---电流细调电位器； 5.5 使用方法仪器： 首先按照说明连接四探针探头与SDY-4主机，接上电源，再按以下步骤进行操作： 5.5.1 开启主电源开关，此时“R□”和“I”指示灯亮，预热约5分钟； 5.5.2 估计所测样品方块电阻的范围，按表1选择电流量程，按下②、③、④、⑤中相应的键（如 无法估计样品方块电阻的范围，则可以以“0.1mA”量程进行测试，再以