一、激光刻膜机介绍课件.pptVIP

非晶硅薄膜产品线介绍 我司非晶硅薄膜产品线共含四台设备；其中激光划线机3台（1台1064nm红光；2台532nm绿光【两台一样】）；激光增透机1台；激光清边机1台。 华工非晶硅产品线介绍 激光划线机（P1为1064nm刻TCO膜、P2为532nm刻非晶硅膜、P3为532nm刻Al铝层） 激光增透机（P4为532nm） 激光清边机（P5为1064nm） 激光划线机组成 ●系统组成 ●红外激光器系统、（绿激光器系统）、声光调制系统及光学系统、分光机构、聚焦系统、控制及软件系统、除尘系统.视觉定位系统.二维高精度工作系统及定位系统和气动夹紧系统所组成。 ●可根据客户需求配备玻璃翻转机构。（实现自动化生产） 系统的工作原理 划线机激光器 激光器1：(P1) 激光波长： 1064 nm 工作频率范围： 1～100KHz 平均功率： 20W@50kHz 激光脉冲能量不稳定性： 2%(RMS) 激光脉冲宽度： 40 ns@50KHz 激光模式： TEM00 偏振方向：水平 光斑圆度： 90% 晶体： YVO4 光束质量： M2 1.1 出口光斑： 0.9mm 远场发散角： 1.8 mrad 泵浦方式： 光纤耦合端面泵浦 划线机激光器 激光器2(P2、P3)： 激光波长： 532nm 工作频率范围： 1～100KHz 平均功率： 5W@30kHz 激光脉冲能量不稳定性： 2%(RMS) 激光脉冲宽度： 12 ns@30KHz 激光模式： TEM00 光斑圆度： 90% 光束质量： M2 1.1 出口光斑： 0.9mm 远场发散角： 1.8 mrad 偏振方向： 垂直 晶体: YVO4 泵浦方式： 光纤耦合端面泵浦 划线所达到的指标 ● ①刻线光滑清晰，刻划线膜层两侧不能粘 连短路（检测方式为万用表Ω档） ● ②线宽：0.04mm-0.08mm可调 ● ③三条线总宽0.4mm以内 光学系统 （采用全封闭光路系统） ● 1）分光系统：四路同时输出，光束间功率最大差别小于5％，且四条光束的间距可调，调节范围：5mm－18mm； ● 2）全反及半反光学系统高精度反射、聚光系统 ● 3）配置2-8 倍扩束系统，保证光束高质量 控制及软件系统 ●计算机控制系统是整个激光划线机控制和指挥的中心，同时也是软件安装的载体。通过控制声光调制系统、四光路分光系统、运动工作台（伺服系统）的协调工作完成对工件的刻线处理。 ●软件系统是采用本公司自己研发的软件（华工激光专利），本软件操作简单，功能强大，易于掌握，刻划参数可由软件设定并保存。并实时显示运动轨迹。 软件功能介绍 划线软件（华工激光专利、是激光划线机重要技术支撑点） 1）本软件界面友好， 操作简单，易于掌握。 刻划参数可由软件设 定并保存。并实时显 示运动轨迹 二维高精度运动系统 采用工作台作二维运动方式。二维运动系统采用大理石底座使运动的动刚度更好，有利于设备在高速运动平稳，选用进口直线电机和高精度导轨； 重复定位精度：X轴和Y轴 ±3μm 定位精度：X轴 ±2μm Y轴 ±2μm 平行度： 2μm 平面度：≤0.02 刻线直线度：15μm/1400m CCD定位精度：1um 工作行程：1100*1400mm 直线电机：X轴（龙门上激光头运动） 最大推力: 1200 N 持续推力: 586 N Y轴 （设备底座上工作台运动） 最大推力: 1200 N 持续推力:586 N 玻璃基板固定夹具 激光划线机技术参数 ● 1）红外激光波长:1064nm ● 2）绿激光波长: 532nm ● 3）直线电机驱动划线速度：400mm-1500mm/s ● 4）工作幅面规格：1245mm×635mm、 1300mm×1100mm 1400mm×1100mm (工作台可根据客户工件其他规格设计制造) ● 5）光栅定位 ● 6）气动及弹簧夹紧装置 激光在P1层的划线效果 激光在P2层的划线效果 激光在P3层的划线效果 * 激光划线机设备机型介绍 激光划线机图片仅供参考 激光划线机介绍 （P1、P2