第六章压电式传感器总汇.pptVIP

前置放大器输入电压的幅值： 输入电压与作用力之间的相位差： 前置放大器输入电压的幅值： 如果希望前置放大器输入电压幅值与外力频率无关则需： 可简化为： 压电式传感器具有相当好的高频响应特性。 电压灵敏度： ●电缆分布电容Cc 对输出电压和灵敏度影响较大。 （二）电荷放大器 Cs Rs Ri Ci Cc Qs A + － CF RF Is If 电荷放大器是一个具有深度负反馈的高增益放大器。 电荷放大器的等效电路 理想运放： Cs Rs Ri Ci Cc Qs A + － CF RF Is If * * * * 新乡医学院生命科学技术系 压电式传感器 第 章 6 压电式传感器：是一种利用材料的压电效应，将力、加速度等参数转换成电荷或电压变化的传感器装置。它是典型的有源传感器。 第一节 压电效应 F － － － － － － ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ F F F ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ ＋ － － － － － － ★压电效应：某些物质沿一定方向受到外力作用产生形变时，会在相对的两个表面上产生异号电荷；当去掉外力后，又重新回到不带电的状态，这种将机械能转变为电能的现象称为压电效应。 一、压电效应 ★逆压电效应：在某些物质的极化方向上施加电场，会产生变形，在去掉外加电场后，该物质的变形随之消失。（电致伸缩效应） 压电材料 正压电效应 电能 机械能 逆压电效应 一、压电效应 石英晶体，具有规则的几何外形，其形状为六角形晶柱，两端呈六棱锥形状。 二、石英晶体的压电效应 Z轴：光轴，在Z轴方向上没有压电效应。 X轴：电轴，经过晶体棱线，沿X轴施加作用力后的压电效应称为纵向压电效应。 Y轴：机械轴，垂直于棱面，沿Y轴施加作用力后产生电荷的压电效应称为横向压电效应。 石英晶体有三个晶轴 二、石英晶体的压电效应 x b z y a c 从晶体上，沿y方向切下一块如图所示的晶体片 二、石英晶体的压电效应 x b z y a c 纵向压电效应：当在电轴方向施加作用力时，在与x轴垂直的平面上将产生电荷： ——x轴方向受力的压电系数； 二、石英晶体的压电效应 极间电压 x b z y a c 横向压电效应：若在同一切片上，沿机械轴y方向施加作用力，则仍在与x轴垂直的平面上产生电荷： ——y轴方向受力的压电系数； 晶片厚度 二、石英晶体的压电效应 石英晶体压电效应机理 石英晶体：SiO2 代表硅离子 Si4+ + “ ” 代表氧离子 2O2– _ “ ” 1.当石英晶体没有受到外力作用时： 正负电荷中心重合 晶体表面不产生电荷，呈电中性。 二、石英晶体的压电效应 2.当石英晶体在X轴方向上受到压力Fx时： 结果： A面上呈现负电荷，B面上呈现正电荷 石英晶体在X轴方向上受到拉力时的情况 二、石英晶体的压电效应 3.当石英晶体在Y轴方向上受到压力Fy时： 结果： A面上呈现正电荷,B面上呈现负电荷 二、石英晶体的压电效应 4.当石英晶体在Z轴方向上受到压力时： 正负电荷中心始终重合，所以晶体表面无电荷产生。 沿Z轴方向施加外力，石英晶体不产生压电效应。 二、石英晶体的压电效应 * x轴方向受力：压力 x轴方向受力：拉力 y轴方向受力：压力 y轴方向受力：拉力 纵向压电效应 横向压电效应 力不同 力不同 面不同 面不同 二、石英晶体的压电效应 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料，它由无数细微的单晶体组成。 三、压电陶瓷压电效应 原始的压电陶瓷，不具有压电性。 它具有“电畴”结构。各电畴的极化方向是无规则的，自发极化的作用相互抵消，总极化强度为0。 极化处理：在一定温度下，对压电陶瓷施加强电场，使电畴的自发极化方向按外加电场的方向取向。 加外电场 E 撤销外电场 未极化前：不具压电性 三、压电陶瓷压电效应 极化后：具有压电性 压电陶瓷内部极化强度不为0。 压电陶瓷片整体上表现为电中性。 – – – – – + + + + + 自由电荷 束缚电荷 – – – – – + + + + + 自由电荷 三、压电陶瓷压电效应 F － + 极化方向 – – – – – + + + + + – – – – – + + + + + 压电陶瓷的正压电效应 加力F：放电现象 撤消F：充电现象 机械能 电能 三、压电陶瓷压电效应 电场方向 极化方向 – – – – – + + + + + – – – – – + + + + + Ｅ 压电陶瓷的逆压电效应 同向：伸长现象 反向：缩短现象 电能 机械能 四、压电材料 类 别 材