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设备使用问卷调查表各位用户及学界先进您好感谢您长久以来对国家实验研究院奈米元件实验室NDL的支持与爱护。提供更专业的全方位服务是我们的责任使客户满意是我们追求的目标追求世界第一是我们的愿景。为了提升服务品质本实验室希望透过NDL的web portal进行客户满意度调查以提升NDL服务品质及行政支援效率。您的宝贵意见是我们改进的重要参考和未来研究资源运用效率检讨的依据。请您拨冗填写以下表单您的协助与意见将使我们更加成长与进步谢谢您的合作。顺颂教安倪卫新敬上国家奈米元件实验室主任国立交通大学TSMC讲座教授一、基本资料填写日期姓名学校/系所或单位/部门职称□博士班 □硕士班 □其他联络电话 E-mail 指导教授姓名指导教授E-mail 指导教授联络电话国家实验研究院国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 二、详细资料 1.请问您是否曾取得NDL自行操作仪器资格 □是 □否 2.请问您是否曾委托NDL进行代工服务□是 □否 3.请问您是否曾参加NDL所开设之课程□是 □否 4.请问您是否曾与NDL共同进行研究计画推动□是 □否 5.请问您目前使用NDL仪器设备所使用的经费多来自於□自费 □国科会贵仪 □NDL合作计画 □无使用过NDL仪器设备三、网站改版满意度调查非常满意满意普通不满意非常不满意您对NDL目前网站首页编排方式 5 4 3 2 1 您对NDL目前网站提供的资讯内容丰富性 5 4 3 2 1 您对NDL目前网站使用容易度 5 4 3 2 1 您对NDL目前网站资讯更新速度 5 4 3 2 1 您对NDL目前网站下载速度 5 4 3 2 1 四、技术支援满意度调查未使用其他贵仪中心仪器设备者贵仪中心栏位免填非常满意满意普通不满意非常不满意您对仪器设备使用预约上的便利性 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备的使用稳定度 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备工程师的专业程度及应用经验 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备在违规事项与工安问题的标示明确性 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 您对仪器设备技术服务服务对自己研究上的帮助 NDL 5 4 3 2 1 贵仪中心 5 4 3 2 1 五、课程规划满意度调查非满普不非国家实验研究院国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 常满意意通满意常不满意您对NDL现有开课项目 5 4 3 2 1 您对NDL现有课程规划内容 5 4 3 2 1 您对NDL讲师授课方式、表达能力 5 4 3 2 1 您对NDL课程的收费标准 5 4 3 2 1 您对NDL课程对工作或自己研究上的帮助 5 4 3 2 1 六、合作研究满意度调查非常满意满意普通不满意非常不满意您对NDL合作研究案的申请与审核流程 5 4 3 2 1 您对NDL合作研究案服务窗口的服务态度 5 4 3 2 1 您对NDL研究人员的专业素养与研究态度 5 4 3 2 1 您对NDL研究环境的完善程度 5 4 3 2 1 您对合作研究模式对自己研究上的帮助 5 4 3 2 1 七、营运组制程模组及设备服务满意度调查未使用营运组仪器设备仪器设备者免填 1.请问您曾经使用过本实验室下列何项制程模组及设备服务可复选频率请略估每日、每周、每月、每年微影 Lithography □ 频率湿式清洗蚀刻 Wet Clean Etch □ 频率蚀刻 Etching □ 频率化学机械研磨 CMP □ 频率离子植入Implantation □ 频率电化学电镀ECP □ 频率热处理制程 Thermal Process □ 频率分子磊晶Epitaxial Growth □ 频率薄膜沈积 Thin Film Deposition □ 频率薄膜特性分析 Thin Film Analysis □ 频率奈米碳管 CNTs □ 频率电性量测分析 Electrical Measurement □ 频率金属化制程 Metallization □ 频率表面污染分析Contamination Analysis □ 频率 2.请问您对於营运组制程模组及设备服务满意程度如何非常满意满意普通不满意非常不满意国家实验研究院国家奈米元件实验室 National Nano Device Laboratories 表单编号S4-BP02C 修定日期95/09/01 机台之维护能力 5 4 3 2 1 对制程技术支援能力 5 4 3 2 1 机台训练及考核之专业性 5