《先进制造技术-3精密与超精密加工技术.pptVIP

（1）超精密加工刀具 （2）超精密加工设备 ELID修整方法中，砂轮在工作中接正电极，安装在机床上的修整电极为负电极，通过砂轮与电极之间浇注的电解液进行电化学作用在线修整砂轮，使砂轮保持锋利。 精密与超精密加工技术 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 大森整使用ELID方法加工光学玻璃非球面透镜，精度达到0.2μm，表面粗糙度Ra达20 nm。 砂轮的修整用量对超精密磨削质量也有一定的影响。修整参数包括：修整导程、修整切深、修整次数以及光修次数。 精密与超精密加工技术 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 3) 磨削用量对超精密磨削表面的影响（包括砂轮速度、工作台速度、磨削深度） 精密与超精密加工技术 砂轮速度对磨削表面粗糙度无显著影响。但速度增加，机床振动变大，对工件加工不利。 工作台速度对磨削表面质量影响很大，应选用低一点的工作台速度。 磨削深度不能过大，一般小于0.003mm。 4) 光磨次数的影响 5) 冷却润滑液的影响 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 精密与超精密加工技术 6、3 超精密研磨、抛光 研磨和抛光利用研磨剂使工件和研具之间通过相对复杂的轨迹而获得高质量、高精度的加工方法。 通常，研磨为次终加工工序，将平面度降低至数微米以下，并去前道工序(通常为磨削)产生的损伤层。抛光是目前主要的终加工手段，目的是降低表面粗糙度并去除研磨形成的损伤层，获得光滑、无损伤的加工表面。抛光过程中材料去除量十分微小，约为几个微米。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 6、3、1 研磨加工的机制和特点 通常使用尺寸为几个um至十几um大小的氧化铝和碳化硅做研磨剂（磨料），铸铁等硬质材料做研具。 精密与超精密加工技术 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 精密与超精密加工技术 6、3、2 抛光加工的机制与特点 通常使用1um以下的微细磨粒，而抛光器则需要使用沥青、石蜡、合成树脂、人造革、特富隆等软制材料制成。 超精密研磨（抛光）通常选用粒度大小只有几个或几十个纳米的研磨微粒，对加工表面进行长时间的研磨以达到极高表面质量，超精密研磨机床的要求很高。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. 弹性发射研磨抛光加工 弹性发射加工 (Elastic EmissioMachining,EEM)是一种新的“原子级尺寸加工方法”。EEM使用软(在微小压力下很容易发生变形)的聚亚胺酯球作为抛光工具(研磨工具)，同时控制旋转轴与加工工件的接触线保持在45°角。抛光时,垂直工件方向施加载荷，并且保持载荷是1个常量。EEM采用亚微米（纳米）尺寸微粉（氧化锆）,微粉与水混合。通过强迫微粉在旋转的聚亚胺酯球表面下方与工件间距近似1μm（也就是大于研磨微粉尺寸)加工工件。 Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 Client Profile 5.2.0.0. Copyright 2004-2011 Aspose Pty Ltd. Evaluation only. Created with Aspose.Slides for .NET 3.5 C