现代精密测量技术发展现状综述..doc

现代精密测量技术发展现状综述 ： 现代精密测量技术是一门集光学、电子、传感器、图像、制造及计算机技术为一体的综合性交叉学科，涉及广泛的学科领域，它的发展需要众多相关学科的支持。在现代工业制造技术和科学研究中，测量仪器具有精密化、集成化、智能化的发展趋势。 ：现代精密测量，现状，发展趋势 引言： 国内外形势： 三坐标测量机 三坐标测量机即三次元，它是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量仪或三坐标量床。三坐标测量仪可定义为“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传送讯号，三个轴的位移测量系统(如光学尺)经数据处理器或计算机等计算出工件的各点坐标(X、Y、Z)及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。 三坐标测量机在机械、电子、仪表、塑胶等行业广泛使用。三坐标测量机是测量和获得尺寸数据的最有效的方法之一，因为它可以代替多种表面测量工具及昂贵的组合量规，并把复杂的测量任务所需时间从小时减到分钟，这是其它仪器而达不到的效果。 ： 1、主机机械系统（X、Y、Z三轴或其它）； 2、 测头系统； 3、 电气控制硬件系统； 4、 数据处理软件系统（测量软件）； 三坐标测量机在现代设计制造流程中的应用逆向工程定义：将实物转变为CAD模型相关的数字化技术，几何模型重建技术和产品制造技术的总称。 海克斯康测量技术(青岛)有限公司是中国唯一的世界级坐标测量系统制造商有多款三坐标测量仪，不过技术上多少对国外存在依赖，以德国和日本的技术为主。 日本三丰高精度CNC三坐标测量机FALCIO-Apex?系列中的高端产品特点 ??高测量精度、高运动速度。 ??全数字运动控制。 ??三轴导轨均使用经改进的高强度气浮轴承。 测量仪的主要应用领域主要用于机械、汽车、航空、军工、家具、工具原型、机器等中小型配件、模具等行业中的箱体、机架、齿轮、凸轮、蜗轮、蜗杆、叶片、曲线、曲面等的测量，还 可用于电子、五金、塑胶等行业中，可以对工件的尺寸、形状和形位公差进行精密检测，从而完成零件检测、外形测量、过程控制等任务。 非接触测量是以光电、电磁等技术为基础，在不接触被测物体表面的情况下，得到物体表面参数信息的测量方法。典型的非接触测量方法如激光三角法、电涡流法、超声测量法、机器视觉测量等等。 微/纳米级精密测量技术： 20世纪末，测量精度水平开始向微纳米级发展。发达国家计量院对基标准的研究是长期和连续不断的，投入很大。以英国的德国的首，在亚洲，日本的韩国的主，在近年来研究方面发展迅速，逐步步入发达国家行列。我国这方面起步较晚，近年来也取得一些重大成果，总体上还是存在差距。 显微镜测量技术：利用高精密显微镜进行精密测量，比如起步较早的 光学干涉显微镜测量是目前比较常用也是发展较为完善测量手段。F-P（Ferry-Perot）标准的测量技术等，随着新技术、新方法的利用亦具有纳米级测量精度。同样利用干涉的X射线干涉技术能给出纳米级分辨率，国内清华大学测试技术与仪器国家重点实验室在1997年5月利用自己研制的X射线干涉器件在国内首次清楚地观察到X射线干涉条纹。软X射线显微镜、扫描光声显微镜等用以检测微结构表面形貌及内部结构的微缺陷。扫描X射线干涉测量技术是微/纳米测量中的一项新技术，它正是利用单晶硅的晶面间距作为亚纳米精度的基本测量单位，加上X射线波长比可见光波波长小两个数量级，有可能实现0.01nm的分辨率。美国NIST和德国PTB分别测得硅（220）晶体的晶面间距为192015.560±0.012fm和192015.902±0.019fm。日本NRLM在恒温下对220晶间距进行稳定性测试，发现其18天的变化不超过0.1fm。实验充分说明单晶硅的晶面间距具有较好的稳定性。 图像识别与传感器技术： 1）图像信息的获取；（2）图像信息的加工处理，特征提取；（3）判断分类。计算机及相关计算技术完成信息的加工处理及判断分类，这些涉及到各种不同的识别模型及数理统计知识。随着现在计算机技术的发展的不断优化，软硬件水平不断上升，对图像的获取与识别也变得更为迅速而广泛。CCD或全息照相系统构成摄像系统；信息的转换由视频处理器件完成电荷信号到数字信号的转换；计算机及计算技术实现信息的处理和显示；回馈系统包括温度误差补偿，摄像系统的自动调焦等功能；载物工作台具有三坐标或多坐标自由度，可以精确控制微位移。 CCD传感器技术 非接触电荷耦合器件CCD是近年来发展很快的一种图像信息传感器。它具有自扫描、光电灵敏度高、几何尺寸精确及敏感单元尺寸小等优点。随着集成度的不断提高、结构改善及材料质量的提高，它已日益广泛地应用