电镜材料分析作用..doc

扫描电子显微镜在材料分析中的应用 摘 要:介绍了扫描电子显微镜的工作原理、结构特点及其发展,阐述了扫描电子显微镜在材料科学领域中的应用。 关键词: 扫描电子；微镜；材料；应用; SEM’s application in material science Abstract: The principle, structure and development of the Scanning Electron Microscope (SEM) are introduced in this thesis. The application of SEM in the field of material science is discussed. Key words: Scanning Electron Microscope (SEM); material; application； 前 言： 二十世纪 60年代以来,出现了扫描电子显微镜(SEM) 技术,这样使人类观察微小物质的能力发生质的飞跃。依靠扫描电子显微镜的高分辨率、良好的景深和简易的操作方法,扫描电子显微镜 (SEM)迅速成为一种不可缺少的工具,并且广泛应用于科学研究和工程实践中。近年来,随着现代科学技术的不断发展,相继开发了环境扫描电子显微镜 ( ESEM) 、扫描隧道显微镜 (SEM) 、原子力显微镜 (AFM) 等其它一些新的电子显微技术。这些技术的出现,显示了电子显微技术近年来自身得到了巨大的发展,尤其是大大扩展了电子显微技术的使用范围和应用领域。在材料科学中的应用使材料科学研究得到了快速发展,取得了许多新的研究成果。 1．扫描电子显微镜原理 扫描电镜 (Scanning ElectronMicroscope ),简写为 SEM,是一个复杂的系统；浓缩了电子光学技术真空技术、精细机械结构以及现代计算机控制技术。扫描电镜是在加速高压作用下将电子枪发射的电子经过多级电磁透镜汇集成细小的电子束。在试样表面进行扫描,激发出各种信息,通过对这些信息的接收、放大和显示成像,以便对试样表面进行分析。入射电子与试样相互作用产生如图 1所示的信息种类。这些信息的二维强度分布随试样表面的特征而变 (这些特征有表面形貌、成分、晶体取向、电磁特性等) ,是将各种探测器收集到的信息按顺序、成比率地转换成视频信号,再传送到同步扫描的显像管并调制其亮度,就可以得到一个反应试样表面状况的扫描图。如果将探测器接收到的信号进行数字化处理转变成数字信号,就可以由计算机做进一步的处理和存储。扫描电镜主要是针对具有高低差较大、粗糙不平的厚块试样进行观察,因而在设计上突出了景深效果,一般用来分析断口以及未经人工处理的自然表面。 图 1　电子束探针照射试样产生的各种信息 扫描电子显微镜 (SEM)中的各种信号及其功能如表 1所示。 表 1　扫描电镜中主要信号及其功能 收集信号类别 功　　能 二次电 形貌观察 背散 成分分析 特征 X射线 成分分析 俄歇电子 成分分析 扫描电镜可做如下观察: (1) 试样表面的凹凸和形状; (2) 试样表面的组成分布; (3) 可测量试样晶体的晶向及晶格常数; (4) 发光性样品的结构缺陷,杂质的检测及生物抗体的研究; (5) 电位分布; (6) 观察半导体器件结构部分的动作状态; (7) 强磁性体的磁区观察等。 传统扫描电镜的主要结构如图 2所示[1～8]。 图 2　传统扫描电镜的主体结构 扫描电子显微镜有如下七种分类方法: (1) 按照电子枪种类分钨丝枪、六硼化镧、场发射电子枪; (2) 按照样品室的真空度分高真空模式、低真空模式、环境模式; (3) 按照真空泵分油扩散泵、分子泵; (4) 按照自动化程度分自动、手动; (5) 按照操作方式分旋钮操作、鼠标操作; (6) 按照电器控制系统分模拟控制、数字控制; (7) 按照图像显示系统分模拟显像、数字显像。 2. 扫描电镜的发展 扫描电镜的设计思想早在 1935年便已提出,1942年在实验室制成第一台扫描电镜,但因受各种技术条件的限制,进展一直很慢。 1965年,在各项基础技术有了很大进展的前提下才在英国诞生了第一台实用化的商品仪器。此后,荷兰、美国、西德也相继研制出各种型号的扫描电镜,日本二战后在美国的支持下生产出扫描电镜,中国则在 20世纪 70年代生产出自己的扫描电镜。前期近 20年,扫描电镜主要是在提高分辨率方面取得了较大进展。80年代末期,各厂家的扫描电镜的二次电子像分辨率均已达到 4.5nm。在提高分辨率方面各厂家主要采取了如下措施: (1) 降低透镜球像差系数,以获得小束斑;(2) 增强照明源即提高电子枪亮度 (如采用 LaB6或场发射电子枪); (3) 提高