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微机电系统设计学读书报告--浅谈微机械陀螺仪0 引言陀螺仪是一种能够敏感载体角度或角速度的惯性器件，在姿态控制和导航定位等领域有着非常重要的作用。传统的机械陀螺仪由于体积大、成本高、不适合批量生产等因素制约了其在很多方面的应用。在科技发展的推动以及市场需求的牵引下，陀螺仪正朝着高精度、高可靠性、微型化、多轴测量和多功能测量的方向发展。随着MEMS技术的发展，MEMS微细加工工艺在惯性器件制作中的应用大大减小了陀螺仪的尺寸，降低了生产成本，使其能够在汽车、工业自动化、消费电子等领域得到更广泛的应用。陀螺仪的发展大致经历了下列几个过程：从20世纪50年代的液浮陀螺仪到70年代的动力调谐陀螺仪(又称挠性陀螺仪，DTG)，从20世纪80年代的环形激光陀螺仪(RLG)、光纤陀螺仪(FOG)到90年代的振动陀螺仪以及目前研究报导较多的微机械电子系统陀螺仪(简称微机械陀螺仪，MEMSG)[1]。微机械陀螺仪在军事领域方面的应用尤为重要， 如Honeywell最近研究出的GG5300三轴微机械陀螺封装件高度3.3厘米，直径5.0厘米，专为导引头瞄准线稳定、飞行控制、炮塔稳定而设计，已经成功应用于全球鹰无人机上。微机械陀螺仪属于微电子机械范畴，按材料分可分为硅微陀螺、石英微陀螺、压电陶瓷微陀螺等。石英材料结构的品质因数Q值很高，陀螺仪特性最好，且有实用价值，是最早商品化的；硅材料结构完整，弹性好，比较容易得到高Q值的硅微机械结构，随着深反应刻蚀技术（DRIE）的出现，体硅微机械加工技术的加工精度显著提高，因此两种材料的微机械陀螺在市场上都有着广泛的应用。1 微机械陀螺仪硅微机械陀螺仪的结构常采用振梁结构、双框架结构、平面对称结构、横向音叉结构、梳状音叉结构、梁岛结构等。目前世界上研究的石英微机械陀螺按照结构大致可以分为：单端音叉石英微陀螺、双端音叉石英微陀螺、双端固定石英音叉微陀螺、双“Ｔ”型石英微陀螺、双锤头型石英微陀螺和三角型石英微陀螺等。用来产生参考振动的驱动方式有静电驱动、压电驱动和电磁驱动等，而检测由科氏力带来的附加振动的检测方式有电容检测、压电检测、压阻检测等。光学检测也可用， 但由于成本太高，因而没有太大的适用价值。微机械陀螺仪根据驱动与检测方式分为四种：① 静电驱动，电容检测；② 电磁驱动，电容检测；③ 电磁驱动，压阻检测；④ 压电驱动，电容检测。其中静电驱动、电容检测的陀螺仪设计最为常见，并已有部分产品已研制成功。传统的陀螺仪是利用高速转动的物体具有保持其角动量的特性来测量角速度，通过被激励的振动体对哥氏加速度的敏感来测量角速度。1988 年，美国德雷伯实验室研制出第一台框架式角振动微机电陀螺仪，1993 年又研制出性能更好的音叉式线振动陀螺仪。影响其应用的主要问题是精度限制，提高精度的手段主要是改进微细加工工艺和误差分离/补偿技术。目前实现的工程化的MESM 陀螺仪精度在国外已达到1（°）/h 以内[2]。分析和评价陀螺的性能，需要制定一系列的衡量准则，为其应用提供一定的参考依据。总体而言，表征陀螺性能的主要指标有: 标度因数稳定性、漂移稳定性、随机游走、量程和成本等等。依据上述指标将陀螺划分为4 类: 战略级、惯导级、战术级、商业级[3]，如表1。表1陀螺性能指标的划分就目前已研制成功的微机械陀螺仪来说，其结构有以下两种：① 音叉式结构，它利用线振动来产生陀螺效应；② 双框架结构，它利用角振动来产生陀螺效应。双框架角振动微机械陀螺仪研制较早，虽制作工艺简单，但音叉式线振动微机械陀螺仪的灵敏度优于双框架角振动微机械陀螺仪。图1为调谐音叉式微机械陀螺( TFG) 的工作原理图。如图所示，在绕与质量块速度矢量垂直的输入输出轴上施加角速率将引起哥氏力，它推动质量块进入和跳出振荡平面。由于相关质量块的瞬时速度矢量大小相等、方向相反，将引起反平行移动以响应哥氏力。最终的运动由两个质量块的上下电容板测量，给出的信号与施加的输入速率成比例。图1 TFG陀螺的工作原理图2国内外微机械陀螺仪的发展现状20世纪60年代，GE利用压电石英晶体换能器制造出一个金属振动梁结构的陀螺，随后美国沃尔森公司推出利用石英晶体作为振动体，金属电极激励和检测的石英陀螺，但是当时工艺条件还较为落后，石英陀螺的尺寸还是比较大。后来美国Draper（德雷珀）实验室、美国LITTON（利顿）公司、美国BEI（贝）公司、美国HONEYWELL（霍尼韦尔）公司等推出双端石英音叉陀螺，掀起了微机械陀螺仪的研究热潮，将微机械陀螺由实验室的研究推向大规模的实用化和商业化。图2为微机械陀螺实物图。BEI公司QRS11BAE公司SiIMU04 BAE公司SiVSG Honeywell公司GG5200图 2 微机械陀螺实物图目前，国外主要有美国、日本、瑞典、法国等国家在开展微