燒结炉作业指导书.docVIP

1.目的 确保烧结工艺处于稳定、受控状态。 2.适用范围 适用于硅片在烧结炉中的烧结过程。 3.职责 本作业指导书由技术部负责编写和修订； 所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。 4.作业准备 4.劳保用品：穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。4.2确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。5.作业步骤 5.1工艺准备 该作业由组长执行！ 5.1.1开机：具体步骤请参考《烧结炉操作》。 5.1.2设备确认 检查设备和PC上是否有故障显示（红色灯或/和警告窗口）；确认冷却水温是否正常。确认设备运行正常方可执行后续作业；若设备有故障显示，应立即汇报班长。 5.1.3确认工艺参数 5.2工艺启动该作业由组长执行！ 5.2.实际参数确认 等待参数：速度、温度达到稳定后；确认实际参数在设定的区间内（警示灯转为绿色）。 5.3硅片流入开机和设定温度修改后，在正常硅片流入前，放入两片预烧片（从低效片中取出的电池片），印刷后的电池片自动流入烧结炉，无需人工操作。5.4电池片流出 取出片，重复使用。取出烧结过程中破损电池片；定时对流出电池片做外观检查。 5.5关机 该作业由组长执行！ 5.5.1确认烧结炉中所有加工硅片已经流出； 5.5.2关机：具体步骤请参考《烧结炉操作》。 6.自检 该作业由组长与操作人员一起执行！ 操作人员在流出硅片检测过程中，对硅片进行外观自检。自检要求如下所示： 6.1表面检验 参考《》检测烧结后电池片正面和背面，无表面外观问题；翘曲度符合检测标准。 6.2破片检验 要求硅片没有裂片、没有明显裂纹、崩边、缺角。pa 带速 /rpm 温度/℃ 300±15 320±15 340±15 380±20 480±25 540±25 650±30 820±40 850±40 0.25~0.45 43±2 气流量 40±10 45±10 25±10 15±10 20±10 15±5 10±5 15±5 50±10 各温度设定值与实际值偏差要求在±5℃。 7.异常处理 7.1设备出现故障信号（红灯显示），组长应立即报告班长，通知丝网印刷工序停止印刷。 7.2工艺出现异常，如破片率高、连续出现外观问题，组长立即通知丝网印刷停止印刷，通知班长和工程师。 8.相关文件《》9.安全注意项 9.1非该工序生产、工艺和维护人员不得对设备进行操作、拆卸和改装。 9.2设备运行时禁止打开，拆卸安全门。 9.3在炉体温度降到50℃下之前，禁止对设备内部做任何操作。9.4烧结炉内有硅片时禁止降温。 10.记录 版次 条款 更改内容说明 更改日期 更改人 A/1 5.1.3 确认工艺参数 增加点检表样表，见附件一 2010-6-4 臧其军 附件一  烧结炉作业指导书 包头市山晟新能源有限责任公司 受控状态 实施日期 2010年5月1日 适用 多晶电池分厂 实施责任者 李宏克 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 变更内容： 谭旺 文件编号 版/次 总5页 A/0 第1页 文件编写基本规定 上海申和热磁电子有限公司 受控状态 实施日期 2002年09月10 日 适用 质量、环境类文件 受控 实施责任者 管理者代表 注：本文件的更改，应由建议者提出申请，经批准后方可变更。 作成 审核 批准 承认 变更内容： 何锋 文件编号 版/次 总5页 S/QW300042301-02 A/0 第5页