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光电测试技术-非相干信号检测技术[精选]
非相干信号检测技术 本章内容 时变光信号的直接检测 简单光学目标形位检测 复杂光学图像扫描检测 直接检测系统(光强调制)(非相干) 莫尔条纹测长仪 激光测距仪 激光准直 对光信号的直接检测,就是对光通量的测量,了解和掌握光通量的一般测量方法,对于光电系统的分析和设计是最基本的知识 第一节 时变光信号的直接检测 一般光电系统所处理的输入信号是辐射光通量的变化(光谱分析、偏光分析、成像分析等),因此,光信号的直接检测,就是光通量的测量。可以分为振幅型的,频率型的&相位型的。它们测量条件(直流或变化缓慢地信号采用振幅型,时间脉冲信号多采用其他两种),测量误差(振幅测量相对误差为10-2~10-4,频率测量相对误差为10-6~10-8 )不尽相同。 一、光通量的幅度测量 (一)单通道测量系统 1、定义:被测光通量沿单一光学通道传送到光电接收器的系统通称为单通道测量系统。 2、原理:由辐射源产生的光辐射通量经过置于光路上的被测样品或标准样品的部分吸收或散射,出射到接收器的光敏面上。利用光电转换&信号放大器可以测量出载有信息的光通量,最后由指示电表显式记录下被测量的结果。 3、测量方法 (1)直读法 (2)指零法 电路部分不用于读数,而只是用作电表的指零,使被测量与已知量进行比较测量。它可以消除由于辐射光通量,光检测器&放大器工作参数不稳定造成的影响,只取决于读数装置的精度&指零装置的零位漂移。 在装被测样品之前,光屏处于最大吸收位置,并使两通道的输出光通量相等,处于平衡状态。当插入被测样品之后,测量通道的光通量减小。此时,若移动光屏改变透过率值使光屏上透过增大恰好等于被测样品的吸收值,这就可以使两个通道重新达到平衡。光屏的移动或指针的位置就是被测透过率的量度值,并在两通道的输出光通量相等时读出。两个通道的光通量分别由检测器接收,由差动放大器得到增益。放大器输出电压接到伺服电机的控制绕组上,当两个通道的光通量不等时,放大器的输出端产生控制电压使电机轴转动带动光屏移动,一直到输出电压为零停止。 从上式可看出比例因子K0与入射光通量无关,从而减少了光辐射源的不稳定对测量误差的影响。它的这种补偿作用是由于它的入射光通量是以同样的效果影响两个通道,而它们的差值在准确平衡的条件下接近于零,因而对测量结果无影响。 2、比较法 不采用差动放大器接收而用组成电桥的光敏电阻作为光电接收器,我们称其为比较测量法。它同样具有抑制共模扰动的作用。 3、交替比较法 采用一个光电接收器接收,并在光路中加有交替装置,例如:带有光孔的不透明转盘和带缺口的反射镜。 二、光通量的频率测量 (一)波数测量 在一般情况下,波数测量是将由被测量x引起的周期变化的光通量光电转换为电脉冲,再用电子计数器来计数波数的变化N,最后根据公式计算出测量结果x。 x=m0N 式中m0称脉冲当量,表示单位波数变化对应的被测值。 (二)频率测量 如将被测物体安装在测量臂上,并以速度v移动。则它移动了?/2距离的时间为 T= ?/2v=1/f 故 v= ?/2?f 我们可看出,运动速度与光通量的变化频率成正比,只要测得光通量的变化频率即可计算出所需的运动速度。 第三节 简单光学目标的形位检测 光学目标:不考虑被测对象的物理本质,只把它们看作是与背景间有一定光学反差的几何形体或图形景物。分为简单光学目标&复杂图形景物。 应用:大尺寸工件的安装与加工、高速公路&钢轨的自动铺设、地下隧道的自动掘进等工程的自动准直测量;小尺寸测量中的目标对准&位置偏移测量;激光制导等。 一、几何中心检测法 (一)定义:光学目标&其衬底间的光学反差构成了物体的外形轮廓,轮廓尺寸的中心位置称作它的几何中心(G0)。 其坐标为 xG0=1/2?(x1+x2) 通过测量物体的轮廓分布 确定物体中心位置的方法, 称作几何中心检测法。 (二)像分析&像分析器 1、像分析:通过分析被测物体在像面上的几何中心相对于像面基准的偏移情况,从而确定该物体在空间位置的方法。 2、像分析器: (1)定义:一种能将几何形位信息调制到载波光通量上形成光学调制的调制器,是几何量转换成光学量的G/O变换器。 (2)基本原理:将被测物体的光学像相对于像面基准的几何坐标变换为通过该基准某一取样窗口的光通量,通过检测该光通量的变化来解调出物体的坐标位置。 (3)典型的像分析器 双通道差分调制式像分析器 采用两个接收光路的双通道结构。其光路和工作原理图见下页。 在像面上共轭地放置两个狭缝1和2,通过分光元件3得到的两个线像分别成像于狭缝面上,狭缝中心距
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