直立式多腔体直流射频磁控溅射系统一台.docVIP

立式腔体直流/射频磁控溅射系统 用于制备。 A1 system：for Loading / unloading 1. 真空腔体： (1)腔体 : *腔体尺寸: 约400(W)mm×160(D)mm×500 (H) mm（内腔尺寸） 脚架尺寸: 另订 *腔体材质: SUS304 抛光钢材 *水冷式设计 *外箱材质: SEEC粉体烤漆 *焊接方式：全周氩焊 *内部抛光处理 (2)真空抽气系统 a)进口油式真空帮浦 ×1（Oil Pump）(法国 Alcatel) *Model：Alcatel 2033SD *最高排气速度：660L/min *到达压力：2×10-3 Torr *吸气口径：NW40 *电源电压：3相 AC220V；50 / 60Hz b)全磁浮涡轮分子式帮浦 ×1 (法国 Alcatel) *Model：Alcatel ATH500M *最高排气速度：500 L/sec *到达压力：＜1 ×10-8 Torr *吸气口径：ISO160 *排气口径：NW40 *电源电压：单相 AC220V 60Hz c)阀门及管路 *粗抽真空气动阀×1