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平面电动机设计、控制与应用技术综述 平面电动机设计、控制与应用技术综述[/align]曹家勇 朱 煜 汪劲松 尹文生 段广洪 张 鸣（清华大学精密仪器与机械学系 北京 100084） 摘要 平面电动机具有二维直接驱动的特点，它在二维平面定位装置特别是精密二维平面定位装置中具有广阔的应用前景，受到学术界和工业界的广泛关注。本文分析了平面电动机设计理论、控制方法和应用技术的研究现状，考察了平面电动机产品的发展概况，针对目前平面电动机技术存在的不足，讨论了未来平面电动机技术发展的主要方向。关键词：平面电动机 设计理论 控制方法 平面定位装置中图分类号：TM35 Survey of the State of the Art in Planar Motor TechnologyCao Jiayong Zhu Yu Wang Jinsong Yin Wensheng Duan Guanghong Zhang Ming（Tsinghua University Beijing 100084 China）Abstract The planar motor has received wider and wider attention in the academic field and in the industrial field because of the broad pro