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应用于工业催化剂表征中的几种表面分析技术_靳春玲 第26卷第6期山　西　化　工Vol.26　No.6 2006年12月SHANXI CHEMICAL INDUSTRY Dec. 2006 收稿日期:2006-08-14 作者简介:靳春玲,女,1982年出生,在读硕士研究生。研究方向: 工业催化。 　综述与论坛 应用于工业催化剂表征中的几种表面分析技术 靳春玲1,　张志海2,　刘应杰1,　胡典明1,　孔渝华1 (1.湖北省化学研究院气体净化中心,湖北　武汉　430073; 2.湖北省新型反应器与绿色化工重点实验室,武汉工程大学化工与制药学院,湖北　武汉　430074) 摘要:综述了工业催化剂表征中常用到的几种表面分析技术。表面分析技术不仅能获得表面的微 观尺寸、结构、成分和原子状态等很多直接信息,还可以根据反应前后其表征的变化,探讨导致催 化剂失活的主要原因以及活化的方法,从而为工业催化剂的优化设计和开发提供信息。 关键词:表面分析技术;工业催化剂;表征 中图分类号:O655.9　　文献标识码:A　　文章编号:1004-7050(2006)06-0034-03 1　概述 工业催化剂在化学工业中占有举足轻重的地 位,约80%的化工生产过程使用催化剂。催化剂及 催化过程的研究和表征对于提高催化剂的活性和选 择性,进而提高化工生产过程的效率具有重要的意 义。表面分析技术是近年来兴起的工业催化剂表征 的一个重要手段。 表面分析技术是通过用一束“粒子”或某种手段 作为探针来探测样品表面,这些探针可以是电子、离 子、光子、电场和热,在探针的作用下,从样品表面发 射或散热粒子(电子、离子、中性粒子、光子等)或波, 检测这些粒子的能量、能量分布、荷质比、束流强度 等特征,或波的频率、方向、强度、偏振等情况,就可 以得到样品的表面信息。 应用于工业上的表面分析技术按研究对象可分 为:表面结构、表面组分和表面电子状态。表面结构 是研究这些原子的空间分布,包括表面和界面原子 是如何排列的以及空间构成、原子大小等,主要有透 射电子显微镜(TEM)、扫描电子显微镜(SEM)等; 表面组分是表面和界面附近分子状态、原子的定性 和定量分析,主要应用X射线衍射(XRD)、X射线 荧光光谱分析(XRFS);表面电子状态是研究表面和 界面的原子能级、价态电子和自由电子的能态结构 及电荷密度的空间分布,主要应用X射线光电子能 谱(XPS或ESCA)、俄歇电子能谱(AES)等。很多 种分析方法能同时获得多种信息,如电子探针X射 线显微分析,就是一种结构分析和成分分析相结合 的分析方法;X射线光电子能谱不仅能测定表面的 组成元素,而且能确定各元素的化学状态。表1列 举了几种表面分析技术在工业催化剂表征中的应用 和能够获得的信息。 表1　几种表面分析技术和可得到的信息 测定方法　　　可得到信息　　　 透射电子显微镜(TEM)分析样品的形貌、结构 扫描电子显微镜(SEM)样品表面形貌进行立体观察和分析 电子探针X射线显微分析(EPMA)样品显微分析和成分分析相结合的微区分析 X射线衍射(XRD)催化剂的晶体信息 X射线荧光光谱分析(XRFS)催化剂总体的元素分析 二次离子质谱(SIMS)表面元素进行定性及定量分析 X射线光电子能谱(XPS或ESCA)表面元素分析,原子的电子状态 俄歇电子能谱(AES)表面元素分析,元素分布 红外光谱(IR)吸附物种的结构,吸附状态2　几种表面分析技术 2.1　表面结构分析 2.1.1　透射电子显微镜 透射电子显微镜简称透射电镜,是一种高分辨 率、高放大倍数的显微镜,也是观察和分析材料形 貌、组织和结构的有效工具。其工作原理如下:电子 枪产生的电子束径1级~2级聚光镜会聚后均匀照 射到试样上的某一待观察微小区域上,入射电子与 试样物质相互作用,由于试样很薄,绝大部分电子穿 透试样[1,2]。透射出试样的电子经三级磁透镜放大 投射在观察图形的荧光屏上,荧光屏把电子强度分 布转变为人眼可见的光强分布,于是在荧光屏上显 示出与试样形貌、组织和结构相对应的图像。 但由于透射电子显微镜对样品制备要求较高, 限制了其应用,于是透射电子显微镜之后,扫描电子 显微镜法得到了发展。 2.1.2　扫描电子显微镜 扫描电子显微镜利用反射型电子信息成像[2]。 其用非常细的电子束作为照明源,以光栅状扫描方 式照射到样品,然后把激发出的表面信息加以处理 放大,放大倍数5~2 000,最大分辨率3 nm,对样品 无特殊要求,包括形状和厚度等。其放大倍数连续 可变,能实时跟踪观察,实现对表面形貌进行立体观 察和分析,图像易于识别和解释。当与X射线谱仪 配接,可同时对局部微区进行成分分析,当配有光学 显微镜和单色仪等附件时,可进行阴极荧光光谱分 析。SEM法对样品的制备要