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IC/5 薄 膜 镀 层 控 制 仪 使 用 说 明 书 IPN 074-237M 第1章 前言和技术规范 1.1 前言 IC/5是闭环工艺过程控制仪主要用于PVD镀膜过程。仪器监测和控制镀膜的速率和镀层的厚度。由于石英晶体表面淀积层质量的增加，引起频率的改变来推断镀膜的速率与厚度。这个技术将传感器置于蒸发源与基片之间的路径上。传感器装有振荡的石英晶体，当镀层增厚时，频率降低。频率的变化提供确定速率与镀厚的信息，并连续控制蒸发源的功率。在用户设定要求的时间、厚度、速率、材料特性和功率限值后，仪器能精确和可重复地自动控制镀膜过程。用户通过仪器的面板操作，包括工艺参数的选用和输入。 IC/5整个系统包括主电子学单元，传感器探头和晶体接口单元（XIU），用于每个连接的传感器。这些组件整套供应，也可单独订购。 IC/5 说明书提供仪器的安装、编程、校准和主电子学单元的运行。 阅读IC/5说明书，请特别注意文中的注、注意和警告。注、注意和警告的定义在1-2页的第121节中。 请将有关本说明书有用性与精确性方面的意见填写在登记表中，返回我公司。 1.1.1 相关说明书 传感器包含在各说明书中。 ? 074-154 – 可烘烤 ? 074-155 - 六探头 ? 074-156 – 单 / 双 ? 074-157 – 溅射 1-1 第3章 操 作 3.1 面板控制 IC/5的操作控制位于仪器的面板上，如图3-1所示。 图3-1 1C/5的控制面板 1 CRT显示屏 显示图形、菜单、状态和故障信息。 2 功能键 在显示屏边上有一列功能键：F1至F6。用于选择显示或菜单项。其功能在显示中指示，并在下面的章节中说明。 数据输入键 键盘上有从0至9的数字键和是（Y），否（N），输入（E）。清除（C），打印与菜单等键，用于参数的选择与输入。所有数字和是/否键必须接着按输入键（E）确认输入。清除键（C）用于抹去错误的输入数据。如已输入一个无效的值，使用清除键可抹去错误的信息，重新显示最近的有效数据。菜单键用于导航仪器的显示器。 3-1  4 系统开关 一列3个键用于工艺过程控制的启动、停止和复位功能。见3-23页的3.4.2节。 5 3.5″软盘存取口 3.5″，1.44MB软盘选件的插口。 6 电源 这个开关控制仪器ON与待用之间的切换功能。当按钮按下时电源ON。仪器初始化约5秒钟后出现显示。 7 指示灯 在电源开关边上，打开电源，绿色指示灯亮。 8 遥控插口 用于连接手动遥控器的插口。 9 光标键 一组4个键用于移动显示器的光标向上、向下、向左或向右。这组键自动重复；只要按住键，光标即连续移动，直至显示器的边界。 10 亮度调节 显示器亮度调节电位差计的插孔。用非导电的TV调节工具，顺时针旋转电位差计来增加亮度。 3-2 3.2 后面板接口 IC/5的接口位于仪器的后面板上，如图3-2所示。 图3-2 IC/5的后面板 1 IEEE488插座（选件） 连接IEEE-GPIB接口的插座。 2 传感器插座 – 通道1和2（标准） 连接仪器的两个标准传感器通道的插座。 3 传感器插座 – 通道3和4（选件） 适配两个附加传感器选件3和4的扩展件。 4 传感器插座 – 通道3和4（选件） 适配两个附加传感器选件3和4的扩展件。 5 传感器插座 – 通道3和4（选件） 适配两个附加传感器选件3和4的扩展件。 6 8个继电器×14个输入I/O插件（标准） 8个额定120V（ac）继电器和14个TTL输入的插座。 7 8个继电器×14个输入I/O插件（选件） 8个额定120V（ac）继电器和14个TTL输入的插座。 3-3 8 8个继电器×14个输出I/O插件（选件） 8个额定120V（ac）继电器和14个开收集型输出的插座。 9 6-通道 DAC（标准） 6-通道（BNC连接件）源控制电压或记录仪输出。源控制或记录仪电压的输出是可编程的。 10 24V电源（标准） 三个额定电流1.75A 的24V电源。 11 风扇口 仪器小型风扇的排风口。有栅网保护。 12 交流电源插口 国际通用的电源插口。工厂设定100V（ac），220V（ac），240V（ac）。 13 平行打印机口（标准） 平行打印机（Epson或IBM）输出插口。 1