资料振动传器的中文说明.docVIP

系统硬件设计 总体方案 系统硬件的基本任务是将被测物体的运动信息转换成可被处理的电信号，并完成信号预处理操作，最终目的是得到运动信息准确的数字描述形式，为测量算法提供输入数据源。以外，作为一个完整的模块，还应该包括一些通信、控制接口，以便控制整个系统的工作。 从整个系统的硬件结构如图3-1所示，其中包括加速度传感器及温度补偿电路，模拟信号调理电路，数据采集、数据处理电路，通信接口和供电电源。 图3-1 无陀螺惯性测量硬件框图 Figure 3-1 The GF-IMU hardware architecture 信号工作流程是：初始信号由前端十二个加速度传感器提供，传感器输出信号经调理电路放大滤波后进入多通道同步ADC转换成数字量，再由内嵌于数字信号处理器（Digital Signal Processor，DSP）中的导航算法处理得到相关导航参数，计算结果将由SPI（Serial Peripheral Interface）或SCI（Serial Communication Interface）输出供导航用。系统核心部件DSP采用的是美国TI（Texas Instruments）公司生产的高速32位定点数字信号处理器TMS320F2812，是目前最佳的测控应用定点DSP芯片。 传感器补偿电路 传感器选型 微加速度计是以MEMS（Micro Electron Mechanical Systems）微机电系统技术为基础的一种新型传感器，这种传感器具有体积小、抗冲击、可靠性高、寿命长以及成本低的优点，文献[55~59]表明MEMS工艺制造的微加速度计在精度方面已能满足战略导弹的应用要求。 根据工作原理的不同，MEMS微加速度计有很多种类，应用最广最为常见的有电容式和压阻式两种。电容式微加速度计的灵敏度和精度高、稳定性好、温度漂移小、可以构成闭环回路实现较高的线性度，缺点是工作频带窄，受工艺的限制，在保证灵敏度的条件下传感器体积难以做到很小，此外由于测量对象是微小的电容，因此电路中极小的寄生电容都会严重影响测量精度，这使得信号处理电路设计起来很困难，如果工艺上能够得到改进，并将测量电路集成在传感器内部，可以解决上述问题。压阻式微加速度计具有频率响应范围宽，线性度好，输出阻抗低的特点，它还可以测量静态加速度，即0Hz的加速度，接口电路也非常简单，缺点是温度漂移系数大，需要进行温度补偿[60]。 本系统中选用的是压阻式微加速度计，这种加速度计的内部敏感单元由悬臂梁和检验质量块组成，当感受到加速度时悬臂梁会产生一定的形变，根据半导体的压阻效应，这种形变而变化会产生硅悬臂梁电阻的变化，通过检测单元即可转换成变化的电信号，从而得到随加速度变化而变化的传感器输出信号。 图3-3是本系统选用的M3022型压阻式硅加速度计的实物图。该传感器由 图3-3 M3022型加速度传感器实物图 Figure 3-3 Real object of M3022 accelerometer 美国IC Sensor公司生产，采用表贴封装，内部结构由悬挂于硅架复合横梁上的微小硅芯片组成，上下表面的硅帽提供了超量程保护能力。表3-1中为3022型压阻式硅加速度计主要的技术指标。 表3-1 M3022型加速度传感器主要参数 Table 3-1 Primary parameters of M3022 accelerometer model 参数 单位 最小值 典型值 最大值 注释 量程 G ±2 —— ±500 多种量程可选 零位误差 mV —— ±5.0 ±25.0 —— 非线性度 ±%量程 —— 0.5 1.0 这里的量程是指传感器满量程输出电压信号范围，单位为V或mV 横向灵敏度 —— 1.0 3.0 零点温度系数 —— 1.0 2.0 满量程温度系数 —— 1.0 2.0 电源电压 VDC —— 5.0 10.0 —— 输出噪声 μVp-p —— 1.0 —— —— 输出负载电阻 MΩ 5 —— —— —— 加速度过载 G 40 —— 2000 和量程有关 重量 g —— 6.5 —— —— 补偿电路设计 为提高测量精度，需要为传感器提供补偿电路以提高其输出精度，补偿电路的设计包括如下几个方面的考虑[61]： 加速度计输出的零位偏移补偿； 压阻式硅微加速度计输出受温度影响较大，需要温度补偿； 为传感器提供高稳定、高精度、低噪声的恒定电源。 压阻式硅微加速度计内部电路可以等效成一个桥式电路，如图3-4所示。输入输出关系式如下 (3-1) 理论上当传感器在加速度为0时，这时电桥处于平衡状态，输出等于0。但工程中无法做到绝对相等，输出并不为0，这就是零位偏移误差，补偿的方法很简单，调节电桥桥臂电阻值使与尽量相等，比如当大于时，可增大或减小