第10章气、湿敏传感器摘要.pptVIP

第十章 气、湿敏传感器 §10-1 半导体气敏传感器 一、概述 随着科学技术的发展，生产规模不断扩大，被人们所利用的气体原料和在生活、工业上排放出的气体种类、数量都日益增多。这些气体中，许多都是易燃、易爆(例如氢气、煤矿瓦斯、天然气、液化石油气等)或者对于人体有毒害的(例如一氧化碳、氟里昂、氨气等)。它们若泄漏到空气中就会污染环境，影响生态平衡，并可能会产生爆炸、火灾及使人中毒等灾害性事故。 为了确保安全，防患于未然，须对各种可燃性气体、有毒性气体进行定量分析和检测。气敏元件就是能感知环境中某种气体及其浓度的一种器件。气体传感器能将气体种类及其与浓度有关的信号转换成电信号(电流或电压)。根据这些电信号的强弱就可以获得与待测气体在环境中存在情况相同的有关信息，从而可以进行检测、监控、报警。 一、概述 气体检测方法很多，其中半导体气敏传感器具有使用方便、费用低廉、性能稳定、灵敏度高、可把气体浓度转换成电量输出等优点，故得到了广泛应用。 (一)半导体气敏传感器的分类 (1)半导体气敏传感器按其物理性质分为： ①表面型：利用半导体材料的表面吸附效应，根据半导体表面电阻变化来检测各种气体的传感器。 ②体型：利用半导体与气体间的相互作用，使半导体内部晶格组成状态发生变化而导致电导率变化的传感器。 一、概述 (2)半导体气敏传感器按转换形式分为： ①电阻式：气体接触半导体时，使其电阻值发生变