材料化学---材料表面化学.pptVIP

清华大学材料与表面组 第四章 材料表面化学 4.1表面热力学 界面现象的本质 界面现象的本质 比表面（specific surface area） 分散度与比表面 2.表面张力（surface tension）和表面自由能(surface free energy) 表面张力（surface tension） σ(金属键)σ(离子键)σ(极性共价键) σ(非极性共价键) 表面功（surface work） 多组分系统热力学基本公式 表面自由能(surface free energy) 界面张力与温度的关系 固体表面的特性 吸附剂和吸附质 (adsorbent,adsorbate) Langmuir吸附等温式 Langmuir吸附等温式 Langmuir吸附等温式 Langmuir吸附等温式 Langmuir吸附等温式 Langmuir吸附等温式 BET公式 BET公式 物理吸附向化学吸附的转变 4.2 表面分析方法 电子能谱 Electron Energy Spectroscopy 电子能谱学可以定义为利用具有一定能量的粒子（光子，电子，粒子）轰击特定的样品，研究从样品中释放出来的电子或离子的能量分布和空间分布，从而了解样品的某些元素含量、化学价态、等基本特征的方法。 电子能谱学的物理基础 光电子能谱的建立的基础是Einstain的光电效应，俄歇电子能谱的基础是俄歇电子的发现。 真空技术的发展是电子能谱学发展的重要前提。由于粒子可以和气体分子发生碰撞，从而损失能量。没有超高真空技术的发展，各种粒子很难到达固体样品表面，从固体表面发射出的电子或离子也不能到达检测器，从而难以获得电子能谱的信息。 电子能谱的信息主要来源于样品表面，没有超高真空技术，获得稳定的清洁表面是非常困难的。一个清洁表面暴露在13.3mPa的真空中1秒，就可以在样品表面吸附一个原子层。没有超高真空，就没有清洁表面，也就不能发展电子能谱技术。 根据激发离子以及出射离子的性质，可以分为以下几种技术 紫外光电子能谱（Ultraviolet Photoelectron Spectroscopy，UPS） X射线光电子能谱（X－ray Photoelectron Spectroscopy，XPS） 俄歇电子能谱（Auger Electron Spectroscopy, AES） 离子散射谱（Ion Scattering Spectroscopy，ISS） 电子能量损失谱（Electron Energy Loss Spectroscopy，EELS） 电子能谱学与表面分析有着不可分割的关系。电子能谱学中的主要技术均具有非常灵敏的表面性，是表面分析的主要工具。 而表面分析在微电子器件，催化剂，材料保护，表面改性以及功能薄膜材料等方面具有重要的应用价值。这些领域的发展促进了表面分析技术的发展，同样也就促进了电子能谱学的发展。 电子能谱学的特点是其表面性以及价态关系，这决定了电子能谱在表面分析中的地位。 电子能谱学的应用主要在表面分析和价态分析方面。可以给出表面的化学组成，原子排列，电子状态等信息。 对于XPS和AES还可以对表面元素做出一次全部定性和定量分析，还可以利用其化学位移效应进行元素价态分析；利用离子束的溅射效应可以获得元素沿深度的化学成份分布信息。 此外，利用其高空间分别率，还可以进行微区选点分析，线分布扫描分析以及元素的面分布分析。 这些技术使得电子能谱学在材料科学，物理学，化学，半导体以及环境等方面具有广泛的应用。 主要参考书 D.Briggs著，桂琳琳，黄惠忠，郭国霖等译，《X射线与紫外光电子能谱》，北京大学出版社，1984。 黄惠忠，《论表面分析及其在材料研究中的应用》，科学技术文献出版社，2002。 周清，《电子能谱学》，南开大学出版社，1995。 X射线光电子能谱（XPS） 光电效应的发现 Einstein关系式 光电子能谱的建立 光电子能谱的应用 光电子能谱的发展趋势 XPS特点 能在不太高的真空度下进行表面分析研究， X射线比较柔和的特性使我们有可能在中等真空程度下对表面观察若干小时而不会影响测试结果。这是其它方法都做不到的。当用电子束激发时，如用AES法，必须使用超高真空，以防止样品上形成碳的沉积物而掩盖被测表面。 化学位移效应也是XPS法不同于其它方法的另一特点，即采用直观的化学认识即可解释XPS中的化学位移，相比之下，在AES中解释起来就困难的多。 光电过程机理 光与物质的相互作用 光电离激发过程 光电离几率 偶极发射和表面发射 光电子谱线的特点及表示 光线与物质的相互作用 反射（能量不损失） 吸收（能量转化为